上海华力集成电路制造有限公司李成捷获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利一种真空阀获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223063281U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421830263.0，技术领域涉及：F16K31/06；该实用新型一种真空阀是由李成捷设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空阀在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种真空阀，包括轴体、第一端盖、第二端盖、第一磁吸件和第二磁吸件，所述轴体靠近所述第二端盖的一侧具有持握件，所述持握件用于转动所述轴体，所述第一端盖上设置有第一泄压孔，所述轴体上设置有第二泄压孔，所述第二端盖上设置有通槽，所述第一磁吸件设置于所述第二端盖上面对所述轴体的一侧，所述第二磁吸件设置于所述轴体上面对所述第二端盖的一侧，所述真空阀通过以上各部件的配合作用，通过转动轴体调节所述真空阀的启闭，利用磁吸件的相吸相斥降低真空环境下转动真空阀的难度，且避免了所述真空阀在实际使用过程中的磕碰损坏。
本实用新型一种真空阀在权利要求书中公布了：1.一种真空阀，其特征在于：包括：轴体、第一端盖、持握件、第二端盖、第一磁吸件和第二磁吸件； 所述第二端盖中部设置有贯通的通孔； 所述第一端盖和所述第二端盖连接，所述第一端盖和所述第二端盖之间合围形成一圆柱形的容置空间，所述通孔正对所述容置空间； 所述轴体密封转动的适形设置于所述容置空间内； 所述第一磁吸件设置于所述第二端盖，所述第二磁吸件设置于所述轴体，所述第一磁吸件和所述第二磁吸件距所述容置空间的中轴线的径向距离相同； 所述持握件设置于所述轴体靠近所述第二端盖的一侧，所述持握件沿所述容置空间的中轴线方向的投影位于所述通孔内； 所述第一端盖上设置有第一泄压孔，所述轴体上设置有第二泄压孔；所述轴体转动时，具有泄压状态和密封状态； 所述真空阀为所述泄压状态时，第一泄压孔的出气端与第二泄压孔的进气端正对； 所述真空阀为所述密封状态时，第一泄压孔的出气端与第二泄压孔的进气端错位。
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