苏州中芯启恒科学仪器有限公司周朦获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州中芯启恒科学仪器有限公司申请的专利曝光装置及光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223065644U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421880119.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型曝光装置及光刻机是由周朦;李鑫;王永锋;李新章设计研发完成，并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置及光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种曝光装置及光刻机，曝光装置包括基座、第一移动组件、曝光头和对准组件。第一移动组件设置于基座上，至少包括第一驱动结构；曝光头设置于第一移动组件上且连接第一驱动结构，曝光头在第一移动组件的作用下能相对基座移动；对准组件位于曝光头在第一方向上的前端，包括对准镜头以及调节组件，调节组件设置于曝光头上，对准镜头设置于调节组件上，对准镜头在调节组件的作用下能相对曝光头移动。本实用新型的曝光装置及光刻机，其将对准镜头可动的集成到曝光头上，能根据不同的曝光需求便捷的调节对准镜头，且对准镜头随曝光头一起移动，能更加精确的进行对准曝光。
本实用新型曝光装置及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种曝光装置，应用于光刻机，其特征在于，所述曝光装置包括： 基座； 第一移动组件，设置于所述基座上，所述第一移动组件至少包括第一驱动结构； 曝光头，设置于所述第一移动组件上且连接所述第一驱动结构，所述曝光头在所述第一移动组件的作用下能相对所述基座在第一方向上移动； 对准组件，设置于所述曝光头上且位于所述曝光头在所述第一方向上的前端，所述对准组件包括对准镜头以及调节组件，所述调节组件设置于所述曝光头上，所述对准镜头设置于所述调节组件上，所述对准镜头在所述调节组件的作用下能相对所述曝光头在第一方向、第二方向以及第三方向上移动，所述第一方向、第二方向和第三方向两两垂直。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州中芯启恒科学仪器有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区东富路45号联创产业园1幢5层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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