深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司张宪淼获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利研磨头清洗组件以及抛光机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223057444U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421894796.5，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型研磨头清洗组件以及抛光机台是由张宪淼设计研发完成，并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨头清洗组件以及抛光机台在说明书摘要公布了：本公开实施例公开了一种研磨头清洗组件以及抛光机台，所述研磨头清洗组件被配置为与研磨头沿第一方向对准并清洗所述研磨头，所述研磨头设置有膜片和位于所述膜片边缘且围绕所述膜片的扣环，所述膜片与所述扣环之间具有缝隙，所述研磨头清洗组件包括：第一喷头，与所述扣环对应；第二喷头，与所述缝隙对应，第三喷头，与所述膜片对应；其中，所述第二喷头被配置为：喷射柱状清洗液，以及调节喷射角度。
本实用新型研磨头清洗组件以及抛光机台在权利要求书中公布了：1.一种研磨头清洗组件，所述研磨头清洗组件被配置为与研磨头沿第一方向对准并清洗所述研磨头，所述研磨头设置有膜片和位于所述膜片边缘且围绕所述膜片的扣环，所述膜片与所述扣环之间具有缝隙，其特征在于，所述研磨头清洗组件包括： 第一喷头，与所述扣环对应； 第二喷头，与所述缝隙对应； 第三喷头，与所述膜片对应； 其中，所述第二喷头被配置为：喷射柱状清洗液，以及调节喷射角度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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