上海微电子装备(集团)股份有限公司郎东春获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种吸附组件及晶圆检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223066149U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422055101.0，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种吸附组件及晶圆检测设备是由郎东春;徐凤森;颜小龙;程宇;周许超;齐会平;袁林栋;陈朵朵;陈楠;吴建;许盼盼设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种吸附组件及晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种吸附组件及晶圆检测设备，吸附组件包括第一转接件、吸嘴和至少一个第二转接件；所述第一转接件、所述吸嘴、至少一个所述第二转接件中的任意两者能够可拆卸地连接；所述第一转接件选择性地与所述吸嘴连接或通过至少一个所述第二转接件与所述吸嘴连接。将所述吸附组件应用于晶圆检测设备时，通过使所述第一转接件直接与所述吸嘴连接，或使所述第一转接件通过合适数量的所述第二转接件与所述吸嘴连接，使得所述晶圆检测设备适应于各种不同尺寸的晶圆，提高所述晶圆检测设备的普遍适用性。
本实用新型一种吸附组件及晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种吸附组件，其特征在于，包括第一转接件、吸嘴和至少一个第二转接件；所述第一转接件、所述吸嘴、至少一个所述第二转接件中的任意两者能够可拆卸地连接； 所述第一转接件选择性地与所述吸嘴连接或通过至少一个所述第二转接件与所述吸嘴连接。
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