常州歆灵沐歌科技有限公司黄科获国家专利权
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龙图腾网获悉常州歆灵沐歌科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗滚轮及具有其的晶圆清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223056215U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422047831.6，技术领域涉及：B08B1/40；该实用新型一种晶圆清洗滚轮及具有其的晶圆清洁装置是由黄科;王伟伟设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗滚轮及具有其的晶圆清洁装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆处理设备技术领域，具体涉及一种晶圆清洗滚轮及具有其的晶圆清洁装置。晶圆清洗滚轮包括：空心杆，其上设置有空心腔，空心腔沿空心杆的轴向延伸，空心腔中适于充入清洗液，空心腔侧壁上贯穿设置有清洁孔;发泡填充件，填充安装在空心腔内;清洁海绵，套设安装在空心杆外。发泡填充件由于吸水性使得清洗液能够在空心腔内均匀分布。在晶圆清洗滚轮转动过程中，由于离心力的作用，发泡填充件中的清洗液从清洁孔中甩出将清洁海绵浸湿，使得清洁海绵能够被清洗液均匀浸湿，从而避免由于清洁海绵局部干燥导致的晶圆上局部的脏污无法被清洁掉，防止脏污在晶圆表面残留影响晶圆质量，提升对晶圆清洗的清洁程度。
本实用新型一种晶圆清洗滚轮及具有其的晶圆清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗滚轮，其特征在于，包括： 空心杆（1），其上设置有空心腔（2），所述空心腔（2）沿所述空心杆（1）的轴向延伸，所述空心腔（2）中适于充入清洗液，所述空心腔（2）侧壁上贯穿设置有清洁孔（3）; 发泡填充件（4），填充安装在所述空心腔（2）内; 清洁海绵（5），套设安装在所述空心杆（1）外。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人常州歆灵沐歌科技有限公司，其通讯地址为：213164 江苏省常州市武进区常武中路18-18号1幢常州科教城江南现代研究院科技大厦1003室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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