深圳市矩阵多元科技有限公司龚文志获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种中转装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223066140U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422072927.8,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种中转装置是由龚文志;黄承语;李永杰;张亮;邵寿潜;张晓军设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种中转装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种中转装置,涉及半导体生产技术领域,包括基片、支撑台和机械手,基片设有支撑区和容置区,支撑区包括框部和中心部,框部位于基片的外周边缘,中心部包括沿基片的宽度方向延伸的第一区域和沿基片的长度方向延伸的第二区域,第一区域与第二区域垂直相交,使容置区设置成矩形区域,利于晶片的布置;支撑台包括若干个支撑杆,支撑杆支撑于框部,机械手设置有若干个支撑块,机械手拾取基片时,支撑块与支撑杆错位设置,支撑块支撑于框部与中心部,能够避免在运输或摆放时晶片被压触而导致不良品,并且能够保证基片上的晶片布置数量,以保证生产效率。
本实用新型一种中转装置在权利要求书中公布了:1.一种中转装置,其特征在于,包括: 基片,设有支撑区和容置区,所述支撑区包括框部和中心部,所述框部位于所述基片的外周边缘,所述中心部包括沿所述基片的宽度方向延伸的第一区域和沿所述基片的长度方向延伸的第二区域,所述第一区域与所述第二区域垂直相交; 支撑台和机械手,支撑台包括若干个支撑杆,所述支撑杆支撑于所述框部; 所述机械手设置有若干个支撑块和限位块,所述机械手拾取所述基片时,所述支撑块与所述支撑杆错位设置,所述支撑块支撑于所述框部与所述中心部,所述限位块抵接于所述基片的外周壁。
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