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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利吹扫罩结构及吹扫罩装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223056305U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422096886.6，技术领域涉及：B08B7/00；该实用新型吹扫罩结构及吹扫罩装置是由庞才伟;黎佐兴;黄承语;张晓军;袁明;朱新华设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本吹扫罩结构及吹扫罩装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种吹扫罩结构，包括进气组件、抽气组件和侧封板。进气组件包括第一板件和第二板件，第一板件和第二板件间隔分布以形成第一储气腔室，且第一板件的第一出气孔与第二板件的第二出气孔的轴线平行且间隔分布。抽气组件位于第二板件背离第一板件的一侧，抽气组件的第三板件设有与第二出气孔对应的抽气孔，抽气孔的轴线与第二出气孔的轴线平行。第一出气孔、第一储气腔室、第二出气孔以及吹扫罩结构的密闭空间依次引导气体通过，最终气体从密闭空间经由抽气孔被抽离。本申请能够有效地控制和引导气流，从而提高基片去气过程的效率和均匀性，这有助于确保基片在后续的加工步骤中具有更好的质量和性能。

本实用新型吹扫罩结构及吹扫罩装置在权利要求书中公布了：1.一种吹扫罩结构，其特征在于，包括： 进气组件，包括第一板件和第二板件，所述第一板件设有至少一个第一出气孔，所述第二板件设有多个第二出气孔，沿所述第一出气孔的轴线方向，所述第一板件和所述第二板件间隔分布以形成第一储气腔室，所述第一出气孔与所述第二出气孔的轴线平行且间隔分布； 抽气组件，位于所述第二板件背离所述第一板件的一侧，所述抽气组件包括第三板件，所述第三板件面对所述第二板件，所述第三板件设有与所述第二出气孔对应的抽气孔，所述抽气孔的轴线与所述第二出气孔的轴线平行； 侧封板，沿所述第二出气孔的轴线方向，所述进气组件和所述抽气组件分别连接于所述侧封板的相对两侧，所述侧封板、所述进气组件和所述抽气组件共同配合以限定出密闭空间，所述密闭空间适于容纳基片； 其中，所述密闭空间内适于被通入气体，所述第一出气孔、所述第一储气腔室、所述第二出气孔以及所述密闭空间依次引导所述气体通过，最终所述气体从所述密闭空间经由所述抽气孔被抽离。

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