深圳市汇芯通信技术有限公司张汪根获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市汇芯通信技术有限公司申请的专利一种用于CMP研磨的保持环、抛光头及装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223057443U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422111433.6，技术领域涉及：B24B37/32；该实用新型一种用于CMP研磨的保持环、抛光头及装置是由张汪根;樊永辉;许明伟;樊晓兵设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于CMP研磨的保持环、抛光头及装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于CMP研磨的保持环、抛光头及装置，属于晶圆制造技术领域，包括环体以及设置于所述环体的平边部，所述环体和所述平边部围合形成用于放置晶圆的限位槽，所述平边部用于与所述晶圆的平边相贴合，所述环体呈环状，所述平边部靠近所述环体的轴心线一侧的侧壁呈平面，且所述侧壁与所述轴心线相平行。本实用新型达到在具有平边的晶圆制造过程中，提高研磨均匀性，提升晶圆表面质量，降低不良率低的技术效果。
本实用新型一种用于CMP研磨的保持环、抛光头及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于CMP研磨的保持环，其特征在于，所述保持环包括：环体以及设置于所述环体的平边部，所述环体和所述平边部围合形成用于放置晶圆的限位槽，所述平边部用于与所述晶圆的平边相贴合，所述环体呈环状，所述平边部靠近所述环体的轴心线一侧的侧壁呈平面，且所述侧壁与所述轴心线相平行。
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