上海新昇半导体科技有限公司;上海新昇晶睿半导体科技有限公司季文明获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海新昇半导体科技有限公司;上海新昇晶睿半导体科技有限公司申请的专利静电消除装置以及晶圆清洗机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223066129U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422139821.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型静电消除装置以及晶圆清洗机台是由季文明;李晓艳;任树朝设计研发完成，并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电消除装置以及晶圆清洗机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种静电消除装置以及晶圆清洗机台，静电消除装置包括：夹持件、导电条、转轴以及连接件；夹持件的一端用于与晶圆相接触，另一端与导电条接触；导电条的至少一部分与转轴相接触，转轴通过连接件与接地的外部构件连接，以使得晶圆上聚集的电荷经夹持件、导电条、转轴以及连接件后导入地面；其中，夹持件、导电条、转轴、连接件以及接地的外部构件均为导电材质。如此配置，通过增设导电条以及连接件，并将夹持件更换为导电材质，形成了一条导电通路，使得聚集在晶圆中心的电荷能够导向地面，能够降低处理液与晶圆接触时产生放电现象的概率，避免了在晶圆中心形成损伤，提升了产品良率。
本实用新型静电消除装置以及晶圆清洗机台在权利要求书中公布了：1.一种静电消除装置，其特征在于，包括：夹持件、导电条、转轴以及连接件； 所述夹持件的一端用于与晶圆相接触，另一端与所述导电条接触；所述导电条的至少一部分与所述转轴相接触，所述转轴通过所述连接件与接地的外部构件连接，以使得所述晶圆上聚集的电荷经所述夹持件、所述导电条、所述转轴以及所述连接件后导入地面； 其中，所述夹持件、所述导电条、所述转轴、所述连接件以及接地的所述外部构件均为导电材质。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海新昇半导体科技有限公司;上海新昇晶睿半导体科技有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区泥城镇云水路1000号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号