杭州积海半导体有限公司张涛获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州积海半导体有限公司申请的专利干法刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223066114U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422174947.6，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型干法刻蚀设备是由张涛;李建财;赖正锦;刘伟设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本干法刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种干法刻蚀设备，干法刻蚀设备包括传输腔和多个制程腔，多个制程腔分别通过一个狭缝阀与传输腔连接，其中，狭缝阀处于开启状态时，制程腔与传输腔导通，狭缝阀处于关闭状态时，制程腔与传输腔隔离；气体喷洒器，气体喷洒器设置于狭缝阀靠近传输腔的一侧，且气体喷洒器面向狭缝阀，气体喷洒器用于在狭缝阀处于开启状态时，向狭缝阀和制程腔通入吹扫气体，如此，可以将制程腔内的扩散的残余气体吹回制程腔内，从而防止制程腔内的残余气体扩散至传输腔内，减少或避免不同的制程腔之间气体的相互扩散，从而降低或避免晶圆受到污染的风险，进而减少晶圆的电性损伤和颗粒污染。
本实用新型干法刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种干法刻蚀设备，其特征在于，包括： 传输腔和多个制程腔，多个所述制程腔分别通过一个狭缝阀与所述传输腔连接，其中，所述狭缝阀处于开启状态时，所述制程腔与所述传输腔导通，所述狭缝阀处于关闭状态时，所述制程腔与所述传输腔隔离； 气体喷洒器，所述气体喷洒器设置于所述狭缝阀靠近所述传输腔的一侧，且所述气体喷洒器面向狭缝阀，所述气体喷洒器用于在所述狭缝阀处于开启状态时，向所述狭缝阀和所述制程腔通入吹扫气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州积海半导体有限公司，其通讯地址为：311225 浙江省杭州市钱塘新区义蓬街道江东大道3899号709-7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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