苏州普微迪纳米科技有限公司寇恒权获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州普微迪纳米科技有限公司申请的专利一种多重物理气相沉积技术复合涂层装备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223061073U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422160662.7,技术领域涉及:C23C14/56;该实用新型一种多重物理气相沉积技术复合涂层装备是由寇恒权设计研发完成,并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多重物理气相沉积技术复合涂层装备在说明书摘要公布了:一种多重物理气相沉积技术复合涂层装备,包括:设备外壳;设备外壳上安装有方舱、磁过滤电弧离子源装置和脉冲离子源装置;方舱上安装有磁控溅射装置;设备外壳内设有真空腔体;方舱、磁过滤电弧离子源装置和脉冲离子源装置均与真空腔体相连通;设备外壳上固定安装有抽真空装置和氩气注入装置;抽真空装置和氩气注入装置均与真空腔体相连通;本实用新型通过在设备外壳上安装方舱、磁过滤电弧离子源装置和脉冲离子源装置,能够使用多重物理气相沉积技术完成复合涂层制备,根据材料和工艺选择不同的制备装置。
本实用新型一种多重物理气相沉积技术复合涂层装备在权利要求书中公布了:1.一种多重物理气相沉积技术复合涂层装备,其特征在于,包括:设备外壳1和控制装置;所述设备外壳1上安装有方舱2、磁过滤电弧离子源装置3和脉冲离子源装置4;所述方舱2上安装有磁控溅射装置; 所述设备外壳1内设有真空腔体;所述方舱2、磁过滤电弧离子源装置3和脉冲离子源装置4均与真空腔体相连通; 所述设备外壳1上固定安装有抽真空装置和氩气注入装置;所述抽真空装置和氩气注入装置均与真空腔体相连通; 所述控制装置用于控制除自身之外的整个多重物理气相沉积技术复合涂层装备的运行。
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