拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司张吉瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种射频线圈安装调节装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223066115U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422180962.1，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种射频线圈安装调节装置及半导体设备是由张吉瑞;吴凤丽;杨华龙;朱晓亮;赵阳;李中帅设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种射频线圈安装调节装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种射频线圈安装调节装置及半导体设备。该安装调节装置包括：托举架，处在整个装置的中心且安装于反应腔室顶部的中心位置；多个水平调节组件，径向同心安装于托举架的周向外侧，且可朝向水平方向伸缩调节；多个竖直调节组件，分别安装于多个水平调节组件的伸缩端，且可朝向竖直方向伸缩调节；多个竖直调节组件的伸缩端用于与射频线圈的线圈托架连接。本实用新型的安装调节装置可以使射频线圈与反应腔室径向同心，通过水平调节组件实现不同尺寸的射频线圈的安装，通过竖直调节组件实现射频线圈的安装高度的调节。
本实用新型一种射频线圈安装调节装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种射频线圈安装调节装置，用于将射频线圈安装于半导体设备的反应腔室顶部，其特征在于，所述射频线圈安装调节装置包括： 托举架，处在整个装置的中心且安装于所述反应腔室顶部的中心位置； 多个水平调节组件，径向同心安装于所述托举架的周向外侧，且可朝向水平方向伸缩调节； 多个竖直调节组件，分别安装于多个水平调节组件的伸缩端，且可朝向竖直方向伸缩调节； 其中，多个竖直调节组件的伸缩端用于与所述射频线圈的线圈托架连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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