深圳市矩阵多元科技有限公司冯琳获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利基片台以及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223061069U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422203944.0，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型基片台以及镀膜设备是由冯琳;朱新华;杨洪生;邵寿潜;张晓军设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片台以及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基片台以及镀膜设备，其中，基片台包括：安装架和支撑平台支撑台，具有支撑面，支撑面用于支撑基片，支撑台包括第一功能模块，基片台包括多个支撑台，各支撑台的第一功能模块的类型不同，支撑台可拆卸地连接于安装架，各支撑台能够单独连接于安装架，以使基片台具有多个不同功能的加工模式。因此，在采用不同工艺对基片镀膜时，能够根据镀膜要求选用不同的支撑台，而无需替换整个镀膜设备，从而提高镀膜设备的通用性，以节省镀膜成本。
本实用新型基片台以及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.基片台，其特征在于，包括： 安装架； 支撑台，具有支撑面，所述支撑面用于支撑基片，所述支撑台包括第一功能模块，所述基片台包括多个所述支撑台，各所述支撑台的所述第一功能模块的类型不同，所述支撑台可拆卸地连接于所述安装架，各所述支撑台能够单独连接于所述安装架，以使所述基片台具有多个不同功能的加工模式。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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