胜科纳米(苏州)股份有限公司陈超获国家专利权
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龙图腾网获悉胜科纳米(苏州)股份有限公司申请的专利X射线无损分析装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223065205U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422226967.3,技术领域涉及:G01N23/18;该实用新型X射线无损分析装置是由陈超;陈隆基;华佑南;李晓旻设计研发完成,并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本X射线无损分析装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体晶圆检测技术领域,尤其涉及一种X射线无损分析装置。该X射线无损分析装置包括壳体、载物台、架体、探测器和激光打标器。其中,载物台位于壳体内,且载物台与壳体的底部滑动连接;载物台被配置为放置样品。架体位于壳体内。探测器与架体滑动连接,探测器架设于载物台的正上方,探测器被配置为检测样品的内部结构。激光打标器设置在探测器的上方,且激光打标器与探测器同轴设置,激光打标器被配置为对样品的表面做镭射标记。该X射线无损分析装置能够提高研磨和制样的工作效率,省时省力,达到节约成本的目的。
本实用新型X射线无损分析装置在权利要求书中公布了:1.X射线无损分析装置,其特征在于,包括: 壳体100; 载物台200,所述载物台200位于所述壳体100内,且所述载物台200与所述壳体100的底部滑动连接;所述载物台200被配置为放置样品; 架体300,所述架体300位于所述壳体100内; 探测器400,所述探测器400与所述架体300滑动连接,所述探测器400架设于所述载物台200的正上方,所述探测器400被配置为检测所述样品的内部结构; 激光打标器500,所述激光打标器500设置在所述探测器400的上方,且所述激光打标器500与所述探测器400同轴设置,所述激光打标器500被配置为对所述样品的表面做镭射标记。
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