芯恩(青岛)集成电路有限公司修怡宁获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆纠偏装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223066148U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422253955.X，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆纠偏装置及半导体设备是由修怡宁;刘瑞;孔贺廷;徐海瑞设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆纠偏装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆纠偏装置及半导体设备，通过设置支撑盘、移动机构和至少三个测距传感器；所述支撑盘，用于承载晶圆；所有的测距传感器分布在所述支撑盘的周围一圈，用于检测所述支撑盘上承载晶圆的边缘；所述支撑盘安装在所述移动机构上，且所述移动机构，用于控制所述支撑盘移动以对所述支撑盘上的晶圆进行纠偏。在将晶圆放入冷却站之前，先利用测距传感器检测晶圆的边缘，并利用移动机构控制所述支撑盘移动来对所述支撑盘上的晶圆进行快速纠偏，保证了晶圆能够落到冷却站多层板结构的中心位置，避免了晶圆和冷却站的上层板边缘接触，不仅减少了晶圆的损伤，还避免了交叉污染，从而提高了晶圆的成品率和后续工艺的可靠性。
本实用新型一种晶圆纠偏装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆纠偏装置，应用于半导体设备，其特征在于，包括支撑盘、移动机构和至少三个测距传感器； 所述支撑盘，用于承载晶圆； 所有的测距传感器分布在所述支撑盘的周围一圈，用于检测所述支撑盘上承载晶圆的边缘； 所述支撑盘安装在所述移动机构上，且所述移动机构，用于控制所述支撑盘移动以对所述支撑盘上的晶圆进行纠偏。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号