兴宇宏半导体科技(苏州)有限公司刘建蔚获国家专利权
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龙图腾网获悉兴宇宏半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种光罩盒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223065642U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422258154.2,技术领域涉及:G03F1/66;该实用新型一种光罩盒是由刘建蔚;廖爱娟;陈荔芬设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光罩盒在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种光罩盒,属于半导体加工技术领域,包括顶部开口的盒体和控制该开口开闭的上盖,所述盒体内底面设置有至少两个限位块以实现对光罩的限位,所述上盖上设置有弹性件和压块,当所述上盖将盒体开口闭合时,所述压块与光罩顶面抵触,同时,所述弹性件对压块施加使其抵紧光罩的弹力。本方案中通过设置弹性件,起到了一个距离保护的作用,若是存在光罩放入限位块上时不平整或限位块上存在异物的情况,压块会与光罩顶面抵触,并保持光罩处于受力平衡状态,不会因大力挤压造成光罩的破损。
本实用新型一种光罩盒在权利要求书中公布了:1.一种光罩盒,其特征在于:包括顶部开口的盒体1和控制该开口开闭的上盖2,所述盒体1内底面设置有至少两个限位块3以实现对光罩的限位,所述上盖2上设置有弹性件5和压块4,当所述上盖2将盒体1开口闭合时,所述压块4与光罩顶面抵触,同时,所述弹性件5对压块4施加使其抵紧光罩的弹力。
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