上海微电子装备(集团)股份有限公司张洋获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种阀门及曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223063189U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422292398.2，技术领域涉及：F16K3/03；该实用新型一种阀门及曝光设备是由张洋;张丽;王海涛设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种阀门及曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种阀门及曝光设备，阀门包括阀座、叶片和驱动件；阀座为具有内孔的环状结构；阀座上形成有容置腔，容置腔同轴地环绕在内孔的外周，并还与内孔连通；叶片至少部分地设置在容置腔内，并与阀座可活动地连接；叶片的数量为多个，多个叶片沿所述容置腔的周向依次布置，任意两个叶片部分地重合；叶片能够围合形成流体通道；驱动件部分地设置在容置腔内，并驱使所有叶片同步运动，改变流体通道的开度。该阀门具有较好的调节线性，将其应用于曝光设备时，有利于提高曝光设备内部的微过压调节的准确性和重复性，此外，由于任意两个所述叶片之间部分地重合，使得阀门单位面积的受压区域的厚度较大，这可以在不增加叶片的厚度的情况下，降低叶片的损坏率，提高阀门的使用寿命。
本实用新型一种阀门及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种阀门，其特征在于，包括： 阀座，为具有内孔的环形结构；所述阀座上形成有环形的容置腔，所述容置腔同轴地环绕在所述内孔的外周，并还与所述内孔连通； 叶片，至少部分地设置在所述容置腔内，并与所述阀座可活动地连接；所述叶片的数量为多个，多个所述叶片沿所述容置腔的周向依次布置，任意两个所述叶片部分地重合，所有所述叶片能够围合形成流体通道；以及， 驱动件，部分地设置在所述容置腔内，并与所有的所述叶片连接；所述驱动件被配置用于驱使所有的所述叶片同步运动，以改变所述流体通道的开度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区张东路1525号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号