成都方大炭炭复合材料股份有限公司蔺文获国家专利权
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龙图腾网获悉成都方大炭炭复合材料股份有限公司申请的专利一种气相沉积工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223061077U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422283425.X，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种气相沉积工装是由蔺文;李虓;冯加民;张丽萍;汪强;王超设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相沉积工装在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种气相沉积工装。包括：工装壳体；导气组件，包括间隔设置在工装壳体内的多个导气板和导气管，每个导气板上开设有多个通气孔，相邻两个导气板之间形成沉积腔，导气管由工装壳体底部贯穿至少一个导气板，将所述工装壳体分为底部沉积室和顶部沉积室。通过利用导气板对碳源气体进行扩散，并通过导气管对碳源气体进行引流，以保证碳源气体能够充分分散，进而提高碳源气体的有效利用率，同时可以避免因碳源气体被阻挡而造成的局部堆积现象发生，从而改善了气流场的均匀性，提高了气相沉积效果。
本实用新型一种气相沉积工装在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积工装，其特征在于，包括： 工装壳体100； 导气组件200，包括间隔设置在所述工装壳体100内的多个导气板210和导气管220，每个所述导气板210上开设有多个通气孔211，相邻两个所述导气板210之间形成沉积腔230，所述导气管220由所述工装壳体100底部贯穿至少一个所述导气板210，将所述工装壳体100分为底部沉积室和顶部沉积室。
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