嘉兴博瑞半导体装备有限公司吴维国获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴博瑞半导体装备有限公司申请的专利一种化学气相沉积炉的快速降温装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223061075U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422282289.2，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种化学气相沉积炉的快速降温装置是由吴维国;彭诚纲;王倩倩;吴玉梅设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积炉的快速降温装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的快速降温装置，属于化学气相沉积炉技术领域，旨在解决现有技术外部包围的螺旋循环管与存料管的接触位置固定，冷却范围有限，存料管的散热效率不高的问题。包括降温箱、冷气箱和支撑机构，降温箱设置在冷却箱的上方，降温箱与冷气箱之间设有传输管；降温箱的前端安装有门板，门板上设有观察窗；降温箱的内部底端安装有输送辊，输送辊间隔分布，且之间设有支撑机构，降温箱的内侧壁上设有可活动的喷气管，喷气管水平间隔分布有多组。该化学气相沉积炉的快速降温装置，存料管独立的处于降温箱内部，冷却降温质量更高，并且降温箱内部具有输送存料管的输送辊，方便对存料管进行接料、送料。
本实用新型一种化学气相沉积炉的快速降温装置在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积炉的快速降温装置，包括降温箱6、冷气箱1和支撑机构7，其特征在于，所述降温箱6设置在冷却箱的上方，所述降温箱6与冷气箱1之间设有传输管2； 所述降温箱6的前端安装有门板4，所述门板4上设有观察窗3； 所述降温箱6的内部底端安装有输送辊5，所述输送辊5间隔分布，且之间设有支撑机构7，所述降温箱6的内侧壁上设有可活动的喷气管15，所述喷气管15水平间隔分布有多组，且多组喷气管15之间设有连接件14，所述连接件14将多组喷气管15串联，所述连接件14远离喷气管15的一端固定连接有第二电动推杆12，所述第二电动推杆12竖向设置。
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