北京至格科技有限公司韩冰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京至格科技有限公司申请的专利一种辅助激光干涉仪光学测量的抗干扰装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223064588U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422331048.2,技术领域涉及:G01B11/24;该实用新型一种辅助激光干涉仪光学测量的抗干扰装置是由韩冰;刘瀚笙;孟祥峰;冒新宇设计研发完成,并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种辅助激光干涉仪光学测量的抗干扰装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种辅助激光干涉仪光学测量的抗干扰装置,包括空气抗干扰组件,空气抗干扰组件包括密封输送通道部件、通气管道以及真空泵。密封输送通道部件一端与激光干涉仪的激光出射口连接,密封输送通道部件另一端与被测样品载台连接,密封输送通道部件的侧壁设置出气孔,通气管道一端与出气孔连接,通气管道另一端与真空泵连接。在采用激光干涉仪对被测样品测量过程中,本实用新型提供的辅助激光干涉仪光学测量的抗干扰装置能够解决因空气扰动导致激光干涉仪的激光干涉条纹不稳定,造成被测样品的测量数据具有重复性、准确性较差的问题。
本实用新型一种辅助激光干涉仪光学测量的抗干扰装置在权利要求书中公布了:1.一种辅助激光干涉仪光学测量的抗干扰装置,其特征在于,包括空气抗干扰组件,所述空气抗干扰组件包括密封输送通道部件、通气管道以及真空泵; 所述密封输送通道部件一端与激光干涉仪的激光出射口连接,所述密封输送通道部件另一端与被测样品载台连接; 所述密封输送通道部件的侧壁设置出气孔; 所述通气管道一端与所述出气孔连接,所述通气管道另一端与所述真空泵连接。
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