素珀电子科技(上海)有限公司朱玉东获国家专利权
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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种可调式支架、晶圆检测装置及末端执行器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223064572U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422344055.6，技术领域涉及：G01B11/00；该实用新型一种可调式支架、晶圆检测装置及末端执行器是由朱玉东;严梦;刘玮;赵渠设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可调式支架、晶圆检测装置及末端执行器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种可调式支架、晶圆检测装置及末端执行器，涉及半导体设备技术领域，所述可调式支架包括支架主体，所述支架主体具有移动端，所述移动端滑动设置于所述晶圆检测装置；所述支架主体内部开设有安装空间，所述安装空间贯穿所述移动端，所述安装空间用于穿设传感器，并带动所述传感器同步运动。本发明用于搬运晶圆。本发明至少能够解决转移晶圆的尺寸发生变化时，依然需要进行繁琐的Mapping支架更换步骤的问题。
本实用新型一种可调式支架、晶圆检测装置及末端执行器在权利要求书中公布了：1.一种可调式支架，用于安装在晶圆检测装置上，其特征在于，所述可调式支架包括支架主体100，所述支架主体100具有移动端110，所述移动端110滑动设置于所述晶圆检测装置； 所述支架主体100内部开设有安装空间130，所述安装空间130贯穿所述移动端110，所述安装空间130用于穿设传感器200，并带动所述传感器200同步运动；所述支架主体100具有检测端120，所述安装空间130包括相互连通容纳通道131和穿线通道132，所述容纳通道131内用于设置所述传感器200；所述容纳通道131贯穿所述检测端120，所述穿线通道132贯穿所述移动端110。
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