宸微设备科技(苏州)有限公司曾沛钦获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆的支撑件及晶圆加热器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223061082U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422344057.5，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型晶圆的支撑件及晶圆加热器是由曾沛钦设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆的支撑件及晶圆加热器在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆的支撑件及晶圆加热器，所述晶圆的支撑件可活动的穿设于所述加热盘，所述支撑件包括：支撑主体，具有支撑端和连接部，所述支撑端位于所述支撑主体的一端，所述连接部位于远离所述支撑端的一侧，所述支撑端用于支撑晶圆；增重件设于所述连接部，用于增加所述支撑主体的重量。本实用新型提供的晶圆的支撑件通过在所述支撑主体上设置增重件，以增加支撑主体的自身重量，所以在加热盘上设置本实施例中的支撑件，避免了多个支撑件在上下移动时高度不相同的情况发生，并且可有效克服支撑主体与加热盘之间的摩擦阻力，避免出现跳针或卡针的现象发生，提高了晶圆传输时的稳定性。
本实用新型晶圆的支撑件及晶圆加热器在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的支撑件，所述支撑件可活动的穿设于加热盘，其特征在于，所述支撑件包括： 支撑主体，具有支撑端和连接部，所述支撑端位于所述支撑主体的一端，所述连接部位于远离所述支撑端的一侧并靠近所述支撑主体的另一端，所述支撑端用于支撑晶圆； 增重件，设于所述连接部，用于增加所述支撑主体的重量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宸微设备科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215200 江苏省苏州市吴江区江陵街道芦荡路228号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号