上海子微智能科技有限公司谭新获国家专利权
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龙图腾网获悉上海子微智能科技有限公司申请的专利一种磁场可控的强流脉冲电弧蒸发源获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223061062U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422337147.1，技术领域涉及：C23C14/32；该实用新型一种磁场可控的强流脉冲电弧蒸发源是由谭新;朱振东设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁场可控的强流脉冲电弧蒸发源在说明书摘要公布了：本实用新型涉及电弧蒸发源技术领域，具体涉及一种磁场可控的强流脉冲电弧蒸发源包括阴极靶座二，所述阴极靶座二下方设置密封法兰二，密封法兰二通过螺栓固定在阴极靶座二下端面沿侧，阴极靶座二下端面中心位置固定阴极靶材二，密封法兰二环侧开设凹口状的环槽，密封法兰二的环槽内设置有励磁线圈。本实用新型使用时，通过励磁线圈将围绕靶材的周围进行磁场生成，励磁线圈由可调电源供电，产生强弱可调可控的磁场，弧斑电子在磁场作用下运动轨迹可控可调，并且可布满靶面，薄膜质量变得更均匀，同时弧斑由于可调可控，可以抑制镀膜过程中产生的大液滴，极大提高了膜层质量。
本实用新型一种磁场可控的强流脉冲电弧蒸发源在权利要求书中公布了：1.一种磁场可控的强流脉冲电弧蒸发源，包括阴极靶座二1，其特征在于，所述阴极靶座二1下方设置密封法兰二2，密封法兰二2通过螺栓固定在阴极靶座二1下端面沿侧，阴极靶座二1下端面中心位置固定阴极靶材二3，密封法兰二2环侧开设凹口状的环槽，密封法兰二2的环槽内设置有励磁线圈6，励磁线圈6由外置的可调电源进行供电，阴极靶座二1的侧端环套冷却水套8，冷却水套8采用黄铜材料制件。
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