苏州迈为科技股份有限公司刘玉洲获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州迈为科技股份有限公司申请的专利真空蒸镀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223061059U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422341641.5，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型真空蒸镀设备是由刘玉洲;王岩;张永祺;邓天泽设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空蒸镀设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种真空蒸镀设备。该真空蒸镀设备包括进料腔、真空过渡腔、工艺腔、第一真空泵组和第二真空泵组。其中，进料腔与大气环境选择性连通；真空过渡腔与进料腔选择性连通；工艺腔包括第一蒸镀过渡腔、蒸镀工艺腔、第二蒸镀过渡腔，蒸镀工艺腔的一端与第一蒸镀过渡腔连通，另一端与第二蒸镀过渡腔连通，第一蒸镀过渡腔远离蒸镀工艺腔的一端与真空过渡腔选择性连通；第一真空泵组设置在第一蒸镀过渡腔上并与第一蒸镀过渡腔连通，第二真空泵组设置在第二蒸镀过渡腔上并与第二蒸镀过渡腔连通。该真空蒸镀设备能够提高生产效率，延长第一真空泵组和第二真空泵组的使用寿命，节约成本。
本实用新型真空蒸镀设备在权利要求书中公布了：1.真空蒸镀设备，其特征在于，包括： 进料腔100，所述进料腔100与大气环境选择性连通； 真空过渡腔200，所述真空过渡腔200与所述进料腔100选择性连通； 工艺腔300，所述工艺腔300包括第一蒸镀过渡腔310、蒸镀工艺腔320和第二蒸镀过渡腔330，所述蒸镀工艺腔320的一端与所述第一蒸镀过渡腔310连通，另一端与所述第二蒸镀过渡腔330连通，所述第一蒸镀过渡腔310远离所述蒸镀工艺腔320的一端与所述真空过渡腔200选择性连通； 第一真空泵组340和第二真空泵组350，所述第一真空泵组340设置在所述第一蒸镀过渡腔310上并与所述第一蒸镀过渡腔310连通，所述第二真空泵组350设置在所述第二蒸镀过渡腔330上并与所述第二蒸镀过渡腔330连通。
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