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拉普拉斯(西安)科技有限责任公司赵伟获国家专利权

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龙图腾网获悉拉普拉斯(西安)科技有限责任公司申请的专利温控装置和反应炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223061083U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422363929.2,技术领域涉及:C23C16/52;该实用新型温控装置和反应炉是由赵伟;祁文杰;卢秋霞设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

温控装置和反应炉在说明书摘要公布了:本公开涉及半导体和光伏技术领域,尤其涉及一种温控装置和反应炉,解决了沉积薄膜的过程中,由于加热件使炉腔和承载件的温度持续升高,导致炉腔和承载件的温度不能恒定的问题。温控装置包括加热件、至少一组降温组件和调节组件,加热件至少部分伸入炉腔内,加热件被配置为使炉腔内的温度升高;降温组件至少部分活动连接于炉腔内,降温组件被配置为对炉腔和承载件中的至少一者降温;调节组件与降温组件连接,调节组件能够调节降温组件的降温速度,以使炉腔和承载件的温度维持在预设温度。本公开提供的温控装置和反应炉,能够使炉腔和承载件的温度维持恒定,以提高对片材的加工精度。

本实用新型温控装置和反应炉在权利要求书中公布了:1.一种温控装置,其特征在于,应用于反应炉,所述反应炉具有炉腔,所述炉腔被配置为容纳承载件,所述承载件被配置为承载片材,所述温控装置包括: 加热件,至少部分伸入所述炉腔内,所述加热件被配置为高温催化气体以在所述片材的工艺面镀膜; 至少一组降温组件,至少部分活动连接于所述炉腔内,所述降温组件被配置为对所述炉腔和所述承载件中的至少一者降温; 调节组件,与所述降温组件连接,所述调节组件能够调节所述降温组件的降温速度,以使所述炉腔和所述承载件的温度维持在预设温度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯(西安)科技有限责任公司,其通讯地址为:713700 陕西省西安市西咸新区泾河新城崇文镇泾河三街76号光电子学研究与创新中心3号楼3-4层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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