合肥开悦半导体科技有限公司田来获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥开悦半导体科技有限公司申请的专利一种热板排废管道获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223063429U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422447321.8，技术领域涉及：F16L41/02；该实用新型一种热板排废管道是由田来;魏祥红;王桂昇;陈卓设计研发完成，并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种热板排废管道在说明书摘要公布了：本实用新型涉及涂胶显影设备排废技术领域，公开了一种热板排废管道，包括第一排废管、第二排废管以及若干个第三排废管，所述第一排废管内腔分隔独立布置有若干个排废通道，所述第二排废管布置在所述第一排废管的一侧；所述排废通道均独立连通有若干个排废支管，所述第二排废管以及第三排废管上均连通布置有若干个所述排废支管，所述排废支管的一端与工艺单元的排废口连通，所述排废支管彼此之间独立布置。本实用新型，通过将各热板排废方式进行区隔，在其中一个热板排废压力进行波动时，隔绝对其他热板排废产生的影响，从而使热板的排废量更容易控制，提高热板的处理质量。
本实用新型一种热板排废管道在权利要求书中公布了：1.一种热板排废管道，其特征在于，包括第一排废管、第二排废管以及若干个第三排废管，所述第一排废管内腔分隔独立布置有若干个排废通道，所述第二排废管布置在所述第一排废管的一侧；所述排废通道均独立连通有若干个排废支管，所述第二排废管以及第三排废管上均连通布置有若干个所述排废支管，所述排废支管的一端与工艺单元的排废口连通，所述排废支管彼此之间独立布置。
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