冠礼控制科技(上海)有限公司袁杰获国家专利权
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龙图腾网获悉冠礼控制科技(上海)有限公司申请的专利一种半导体化学品溶液吸取设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119381295B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411467647.5,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种半导体化学品溶液吸取设备是由袁杰;龚新亮;赵晓伟;金琦雨;周琛设计研发完成,并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体化学品溶液吸取设备在说明书摘要公布了:本发明属于半导体制造技术领域,且公开了一种半导体化学品溶液吸取设备,包括反应柜,所述反应柜内部固定连接有反应框,所述反应框内部一侧固定连接有第一阻流薄膜,所述反应柜一侧固定连接有支撑底座,所述支撑底座顶部设置有吸取箱,所述吸取箱一侧固定连接吸取管道,所述吸取箱顶部一侧开设有进油口。本发明通过进油口向储油腔室内部注入防护油,使用压动活塞利用大气压强将储油腔室内部的油冲破第二阻流薄膜通过喷油头喷出,防护油与内壁粘连形成保护膜,极大降低清洁液对于管道内壁的接触,从而避免管道内壁氧化,导致抗腐蚀能力下降,同时避免氧化层脱落造成堵塞管道,导致受热面超温,避免爆管的风险。
本发明授权一种半导体化学品溶液吸取设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体化学品溶液吸取设备,包括反应柜(1),所述反应柜(1)内部固定连接有反应框(2),所述反应框(2)内部一侧固定连接有第一阻流薄膜(3),所述反应柜(1)一侧固定连接有支撑底座(4),所述支撑底座(4)顶部设置有吸取箱(5),所述吸取箱(5)一侧固定连接吸取管道(6),所述吸取箱(5)顶部一侧开设有进油口(7),其特征在于:所述吸取管道(6)内部开设有储油腔室(8),所述进油口(7)贯穿吸取箱(5)和吸取管道(6)并与储油腔室(8)相连通,所述储油腔室(8)内部固定连接有多个连接块(9),所述吸取管道(6)内部固定连接有多个喷油头(10),多个所述喷油头(10)均与储油腔室(8)相连通,多个所述喷油头(10)一端内部均固定连接有第二阻流薄膜(11),多个所述喷油头(10)外侧均固定连接有固定圆块(12),多个所述固定圆块(12)两侧分别固定连接有多个连接架(13),多个所述连接架(13)一侧均固定连接有固定块(14),多个所述固定块(14)一端中部均螺纹连接有限位柱(15),多个所述反应柜(1)一侧均活动套接有环形阻板(16),所述吸取箱(5)内部一侧设置有吸取组件,所述吸取箱(5)内部一侧设置有降温组件。
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