江苏永鼎股份有限公司路庆海获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏永鼎股份有限公司申请的专利用于DFB高速激光器芯片的外延精度优化方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119026538B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411521171.9,技术领域涉及:G06F30/33;该发明授权用于DFB高速激光器芯片的外延精度优化方法及装置是由路庆海;李晶;倪春丽;陆佳腾设计研发完成,并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于DFB高速激光器芯片的外延精度优化方法及装置在说明书摘要公布了:本申请提供了用于DFB高速激光器芯片的外延精度优化方法及装置,涉及半导体激光器制造技术领域,包括:采集结构点云数据信息,进行空间数据融合;构建激光器芯片外延工艺数据库,得到预测模型;获取目标应用场景参数,同数据库进行匹配优选;利用数字孪生技术将三维空间模型和预测模型进行嵌套融合,并对可用控制参数进行精度预测和优化分析,输出工艺控制参数,进行外延精度优化控制。通过本申请可以解决现有技术中由于现有芯片外延工艺的生长条件不稳定,导致工艺控制参数不精确,进而影响了外延精度的技术问题,通过引入激光扫描和三维建模,实现了对外延工艺参数的精确预测和优化,提高了DFB高速激光器芯片的外延精度。
本发明授权用于DFB高速激光器芯片的外延精度优化方法及装置在权利要求书中公布了:1.用于DFB高速激光器芯片的外延精度优化方法,其特征在于,包括: 通过激光扫描仪采集获取DFB高速激光器芯片的结构点云数据信息,根据所述结构点云数据信息进行空间数据融合,生成激光器芯片三维空间模型; 构建激光器芯片外延工艺数据库,利用深度神经网络结构对所述激光器芯片外延工艺数据库进行外延工艺分析训练,得到芯片外延工艺控制预测模型; 获取所述DFB高速激光器芯片的目标应用场景参数,将所述目标应用场景参数和所述激光器芯片外延工艺数据库进行匹配优选,获得芯片外延工艺可用控制参数; 利用数字孪生技术将所述激光器芯片三维空间模型和所述芯片外延工艺控制预测模型进行嵌套融合,构建芯片外延控制数字孪生模型,并基于所述芯片外延控制数字孪生模型对所述芯片外延工艺可用控制参数进行精度预测,得到芯片外延精度预测参数; 对所述芯片外延精度预测参数进行优化分析,输出目标芯片外延工艺控制参数,并基于所述目标芯片外延工艺控制参数对所述DFB高速激光器芯片进行外延精度优化控制; 其中,所述构建激光器芯片外延工艺数据库,包括: 获取芯片外延工艺控制因素,按照所述芯片外延工艺控制因素对所述DFB高速激光器芯片的应用场景集合进行参数提取,获得芯片应用场景参数集合; 根据所述芯片应用场景参数集合,设置外延工艺参数阈值集合; 对所述DFB高速激光器芯片的外延精度质量进行评估指标提取,得到芯片外延精度评估指标集合; 将所述芯片应用场景参数集合、所述外延工艺参数阈值集合和所述芯片外延精度评估指标集合进行正交排列,获得芯片外延工艺应用测试参数表; 基于所述芯片外延工艺应用测试参数表对所述DFB高速激光器芯片进行工艺测试记录,并依据测试记录结果构建所述激光器芯片外延工艺数据库; 其中,所述得到芯片外延工艺控制预测模型,包括: 对所述芯片外延精度评估指标集合中的各评估指标进行关联性分析,确定多个精度评估指标关联因子; 基于所述多个精度评估指标关联因子对所述芯片外延精度评估指标集合进行指标筛选,得到外延精度控制指标集合; 按照所述外延精度控制指标集合对所述激光器芯片外延工艺数据库进行分类同步训练,得到外延工艺指标预测子模型集合; 将所述外延工艺指标预测子模型集合按照所述多个精度评估指标关联因子进行串联加权融合,得到所述芯片外延工艺控制预测模型。
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