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龙图腾网获悉江苏永鼎股份有限公司申请的专利采用动态调整的VCSEL芯片湿法氧化孔径优化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119091154B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411524911.4，技术领域涉及：G06V10/40；该发明授权采用动态调整的VCSEL芯片湿法氧化孔径优化方法是由沈锋;张文琴;计中华;陆佳腾设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本采用动态调整的VCSEL芯片湿法氧化孔径优化方法在说明书摘要公布了：本发明公开了采用动态调整的VCSEL芯片湿法氧化孔径优化方法，涉及半导体制造技术领域，该方法包括：对氧化过程拟合观测，划分关键阶段，设置控制参数的优化优先级和特征。收集湿法氧化过程VCSEL芯片的温度、湿度、孔径变化和氧化时间数据，生成全局决策。将全局决策传递给参数关联控制层进行解析，建立全局目标，优化全局决策，调用局部控制层执行优化后的决策。解决了现有技术中对VCSEL芯片湿法氧化过程控制不精准，参数间联动关系考虑不足的技术问题，达到了对VCSEL芯片湿法氧化过程精准控制的技术效果。

本发明授权采用动态调整的VCSEL芯片湿法氧化孔径优化方法在权利要求书中公布了：1.采用动态调整的VCSEL芯片湿法氧化孔径优化方法，其特征在于，所述方法包括： 对氧化过程进行拟合观测，根据拟合观测结果对氧化过程进行阶段划分，建立关键阶段划分结果，其中，每个关键阶段划分结果设置有控制参数的优化优先级，且所述关键阶段划分结果配置有阶段划分特征； 布设监测传感器，以所述监测传感器进行VCSEL芯片的湿法氧化过程监测，建立实时数据集，所述实时数据集包括氧化环境温度数据、湿度数据、孔径变化数据、氧化时间数据； 配置全局控制层，通过所述阶段划分特征和所述实时数据集进行关键阶段匹配，并以匹配结果激活对应关键阶段划分结果的优化优先级，以激活的优化优先级进行全局控制层的初始化，并通过初始化后的全局控制层进行实时数据集处理，生成全局决策； 将所述全局决策下发至参数关联控制层后，以所述参数关联控制层对全局决策解析，建立全局目标； 以所述全局目标进行参数间的联动关系预测，基于联动关系预测结果配置同步调节策略，基于所述同步调节策略对全局决策优化后，调用局部控制层执行优化后的全局决策； 所述根据拟合观测结果对氧化过程进行阶段划分，建立关键阶段划分结果，还包括： 根据拟合观测结果进行控制参数的时序拟合，建立时序拟合曲线； 对所述时序拟合曲线进行特征点提取，根据特征点提取结果建立时间维度下的聚类结果； 利用所述拟合观测结果进行控制参数的多维聚类，建立多维聚类结果，多维聚类提取的特征包括温度变化速率、湿度波动性、孔径变化速率、孔径稳定性、氧化时间累计效果； 对时间维度下的聚类结果和多维聚类结果进行聚类融合，建立关键阶段划分结果。

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