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龙图腾网获悉中国科学院空天信息创新研究院申请的专利一种基于弱耦合谐振器的增敏式压力传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119469538B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411598836.6，技术领域涉及：G01L21/12；该发明授权一种基于弱耦合谐振器的增敏式压力传感器是由陈德勇;秦佳新;谢波;王军波;鲁毓岚设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于弱耦合谐振器的增敏式压力传感器在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于弱耦合谐振器的增敏式压力传感器，包括弱耦合谐振器和热传导主体，所述弱耦合谐振器与所述热传导主体相连接，所述热传导主体弯曲盘旋设置，所述弱耦合谐振器的各个主谐振器由不同的材料组成，各个所述主谐振器与其附属的所述热传导主体由相同的材料组成，本压力传感器将Pirani真空计和弱耦合谐振器有机结合，弱耦合谐振器敏感的应力来自由热传导主体产生的热应力，为弱耦合谐振器提供刚度扰动，实现真空压力的测量，拓展测量下限并提升综合性能，并且能够在不牺牲Pirani真空计测试范围的前提下，可以实现同一敏感芯体对中低真空压力的测量，量程可拓展至大气压附近。

本发明授权一种基于弱耦合谐振器的增敏式压力传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于弱耦合谐振器的增敏式压力传感器，包括弱耦合谐振器和热传导主体，其特征在于，所述弱耦合谐振器与所述热传导主体相连接，所述热传导主体弯曲盘旋设置，所述弱耦合谐振器的各个主谐振器由不同的材料组成，各个所述主谐振器与其附属的所述热传导主体由相同的材料组成； 所述材料为多层，多层材料之间的热膨胀系数不同； 所述多层材料由上到下依次包括金属层、硅层、绝缘层和衬底层，所述金属层包括镍和铂，所述硅层包括单晶硅，所述绝缘层为玻璃或硅，所述衬底层为硅、玻璃、陶瓷中的一种； 多个所述主谐振器之间通过耦合结构相连接，所述耦合结构为单层材料，所述单层材料为低电阻率材料或高电阻率材料； 所述主谐振器包括振动梁、固定电极和锚点，所述弱耦合谐振器的两端通过所述锚点固定在所述衬底层上，所述主谐振器的其中一端通过所述热传导主体与所述锚点相连接，所述主谐振器上安装有两个平行布置的所述振动梁，所述振动梁呈同相或反相振动，所述振动梁的上下方设置有所述固定电极，所述固定电极固定在所述衬底层上。

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