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龙图腾网获悉研微(江苏)半导体科技有限公司申请的专利一种基于矩阵匹配图的阻抗匹配的方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120016995B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510123766.7，技术领域涉及：H03H7/38；该发明授权一种基于矩阵匹配图的阻抗匹配的方法和系统是由韩萍;何忧;许正昱设计研发完成，并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于矩阵匹配图的阻抗匹配的方法和系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，更具体地说，涉及一种基于矩阵匹配图的阻抗匹配的方法和系统。本发明的方法包括以下步骤：启动射频电源，设置一匹配值作为初始点；配置以初始点为扫描起点的矩阵；启动矩阵扫描操作记录对应的反射功率和输出频率值作为对应矩阵位置的元素值；基于所有的矩阵元素值数据生成矩阵匹配图；对每一个元素值数据进行判断，如果满足条件则将当前元素值数据作为预选匹配值；对每一个预选匹配值进行判断，如果满足最佳匹配条件则将当前的预选匹配值作为最佳匹配值。本发明通过矩阵扫描方法精准识别阻抗匹配器的最佳匹配参数，适应不同工艺条件下的阻抗变化，显著提升半导体工艺过程的稳定性和可靠性。

本发明授权一种基于矩阵匹配图的阻抗匹配的方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种基于矩阵匹配图的阻抗匹配的方法，其特征在于，采用匹配器调整等离子体处理设备中射频电源与腔体负载之间的阻抗匹配，所述匹配器至少包括第一可调电容和第二可调电容； 所述方法，包括以下步骤： 启动射频电源，设置一匹配值作为初始点，所述匹配值为一组第一可调电容参数与第二可调电容参数； 配置以初始点为扫描起点的矩阵，所述矩阵的行与列分别由第一可调电容参数与第二可调电容参数构成； 启动矩阵扫描操作，依次改变矩阵中的第一可调电容参数和或第二可调电容参数值，记录对应的反射功率和输出频率值作为对应矩阵位置的元素值； 基于所有的矩阵元素值数据生成矩阵匹配图； 对矩阵匹配图内的每一个元素值数据进行判断是否满足预设判定条件，如果满足预设判定条件，则将当前元素值数据作为预选匹配值，如果所有元素值数据均不满足预设判定条件，则重新设置初始点并启动矩阵扫描，所述预设判定条件与反射功率值、输出频率值相关； 将所有预选匹配值生成预选匹配值集合； 对预选匹配值集合内的每一个预选匹配值进行判断是否满足最佳匹配条件，如果满足最佳匹配条件则将当前的预选匹配值作为最佳匹配值，如果所有预选匹配值均不满足最佳匹配条件，则重新设置初始点并启动矩阵扫描，重复上述步骤； 所述最佳匹配条件与预选匹配值周围的元素值数据相关。

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