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龙图腾网获悉深圳飞骧科技股份有限公司申请的专利声表面波滤波器的制备方法及声表面波滤波器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119696541B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510207291.X，技术领域涉及：H03H9/64；该发明授权声表面波滤波器的制备方法及声表面波滤波器是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本声表面波滤波器的制备方法及声表面波滤波器在说明书摘要公布了：本发明涉及无线通讯技术领域，提供了一种声表面波滤波器的制备方法及声表面波滤波器，S1、获取声表面波滤波器的衬底；S2、在衬底的正面生长多个金属电极和保护层，保护层完全覆盖多个金属电极；S3、在衬底上预设均热柱区域，并在衬底的背面旋涂一层光刻胶；S4、通过曝光并显影，去除均热柱区域的光刻胶；S5、通过干法刻蚀对均热柱区域刻蚀形成凹槽，并去除衬底上剩余的光刻胶；S6、对衬底的背面沉积电镀种子层，并继续完成铜电镀工艺，以使凹槽被铜填满；S7、对衬底的背面进行研磨，直至衬底的背面暴露，保留形成于凹槽内的均热柱，得到声表面波滤波器。本发明的声表面波滤波器能有效提升器件在高输入功率工况下的抗热损坏能力。

本发明授权声表面波滤波器的制备方法及声表面波滤波器在权利要求书中公布了：1.一种声表面波滤波器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤： S1、获取用于制作声表面波滤波器的衬底； S2、在所述衬底的正面生长多个金属电极和保护层，所述保护层完全覆盖多个所述金属电极； S3、在所述衬底上预设均热柱区域，并在所述衬底的背面旋涂一层光刻胶；其中，预设所述均热柱区域的方法包括以下步骤； 预设多个谐振器，根据仿真，选择多个所述谐振器中失效最大的谐振器，所述谐振器小于所述声表面波滤波器上的谐振器的总数的12； 根据所述谐振器的位置，对应获得所述均热柱区域； S4、通过曝光并显影，去除所述均热柱区域的所述光刻胶； S5、通过干法刻蚀对所述均热柱区域刻蚀形成凹槽，并去除所述衬底上剩余的所述光刻胶；其中，所述凹槽的深度为所述衬底的厚度的40%~100%； S6、对所述衬底的背面沉积电镀种子层，并继续完成铜电镀工艺，以填满所述凹槽； S7、对所述衬底的背面进行研磨，直至所述衬底的背面暴露，保留形成于所述凹槽内的均热柱，得到所述声表面波滤波器。

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