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龙图腾网获悉浙江芯动科技有限公司申请的专利一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119774545B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510280273.4，技术领域涉及：B81C3/00；该发明授权一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法是由刘立岳;刘聪设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及MEMS制造的技术领域，它涉及一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法，将初始电压值设为固定电压值的50%‑70%，实时监测键合界面电阻值、界面温度场分布及局部应力变化；根据界面电阻下降速率与温度梯度进行电压层级响应：将模糊PID与滑模变结构控制融合，根据电流密度偏差和温度超调量动态调整控制参数，使电压输出纹波小于±0.5%，若电极局部温度超过材料耐受阈值的90%，激活逆向电压脉冲序列，抵消离子迁移惯性，并重新初始化当前调控周期，本发明通过多模态反馈监测和分层动态调控，能够实时调整电压，避免电流分布不均和局部过热，从而显著降低电极烧坏的风险，提高键合可靠性。

本发明授权一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法在权利要求书中公布了：1.一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、设定初始电压：将初始电压值设为固定电压值的50%-70%，所述初始电压的范围为200V-300V； S2、多模态反馈监测：实时监测键合界面电阻值、界面温度场分布及局部应力变化； S3、分层动态调控：根据界面电阻下降速率与温度梯度进行电压层级响应： S31、当界面电阻下降速率高于第一阈值，启动线性电压缓升模式，按速率比例增加电压； S32、当电阻下降至预设分位点，触发阶梯增压，每一阶梯增幅递减20%-30%； S33、当界面温度场均匀性指数低于0.9时，切换为脉冲式电压控制，以缓解局部热积聚； S4、自适应模糊滑模控制：将模糊PID与滑模变结构控制融合，根据电流密度偏差和温度超调量动态调整控制参数，使电压输出纹波小于±0.5%； S5、自修复逻辑触发：若电极局部温度超过材料耐受阈值的90%，激活逆向电压脉冲序列，抵消离子迁移惯性，并重新初始化当前调控周期。

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