杭州广立测试设备有限公司王闯获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州广立测试设备有限公司申请的专利晶圆的测试方法、装置和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119916189B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510406576.6,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权晶圆的测试方法、装置和存储介质是由王闯;王弘设计研发完成,并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆的测试方法、装置和存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供了一种晶圆的测试方法、装置和存储介质,包括:获取测试数据文件,获取待测晶圆的测试数据文件,对待测晶圆的待测裸片进行测试,得到待测晶圆的初始测试结果;根据初始测试结果确定待测晶圆的复测区域;复测区域根据未通过测试待测裸片的偏移确定,复测区域包括至少一个未测试的裸片;根据复测区域的裸片信息对待测晶圆进行测试,得到待测晶圆的复测结果。在测试过程中不需要更换测试数据文件的同时,支持循环测试,且每次测试可动态获取不同的测试裸片坐标,从而缩短测试时间,减少硬件使用损耗,提高良品率的准确性。
本发明授权晶圆的测试方法、装置和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种晶圆的测试方法,其特征在于,所述方法包括: 获取待测晶圆的测试数据文件,对所述待测晶圆的待测裸片进行测试,得到所述待测晶圆的初始测试结果; 根据所述初始测试结果确定所述待测晶圆的复测区域;所述复测区域根据未通过测试待测裸片的偏移确定,所述复测区域包括至少一个未测试的裸片; 根据所述复测区域的裸片信息对所述待测晶圆进行测试,得到所述待测晶圆的复测结果; 所述待测晶圆划分为多个测试区域,初始测试结果包括所述待测晶圆的第一合格率,以及多个所述测试区域对应的多个第二合格率;根据所述初始测试结果确定所述待测晶圆的复测区域,包括:根据所述第一合格率和多个所述第二合格率,确定所述待测晶圆或所述测试区域为复测对象;根据所述复测对象中未通过测试的待测裸片确定复测区域; 根据所述初始测试结果确定所述待测晶圆的复测区域,包括:若所述第一合格率符合要求,多个所述第二合格率中存在不符合要求的待复测合格率,则确定待复测合格率对应的测试区域为复测对象;根据复测对象中未通过测试的待测裸片,确定复测区域;若所述第一合格率不符合要求,则确定所述待测晶圆为复测对象;根据复测对象中所有的待测裸片,确定复测区域。
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