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龙图腾网获悉杭州广立测试设备有限公司申请的专利晶圆的电容测试方法、装置、电子设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119916090B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510406579.X，技术领域涉及：G01R27/26；该发明授权晶圆的电容测试方法、装置、电子设备和存储介质是由陈巍;李成霞;毛渲;陈晓锐设计研发完成，并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆的电容测试方法、装置、电子设备和存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆的电容测试方法、装置、电子设备和存储介质，包括：在进行空针电容测试前，读取待测对象的测试信息；基于测试信息中的共性信息生成判断变量；基于判断变量确定是否存在对应的空针电容值；如果不存在，则根据测试信息对待测对象进行空针测试，并将测试得到的空针电容值与判断变量进行关联；如果存在，则自动获取存在的空针电容值。该方式中，通过将测试对象和测试参数这些测试信息作为共性信息，基于全局变量的判断来确定是否存在空针电容，可不重复测试空针电容，提升产能，提高生产效率；同时大幅度降低抬针扎针次数，提高针卡寿命，降低成本。

本发明授权晶圆的电容测试方法、装置、电子设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的电容测试方法，其特征在于，所述方法包括： 在进行空针电容测试前，读取待测对象的测试信息；基于所述测试信息中的共性信息生成判断变量；所述共性信息表征相对于同一个参考维度代表相同的测试位置和测试条件； 基于所述判断变量确定是否存在对应的空针电容值；如果不存在，则根据测试信息对待测对象进行空针测试，并将测试得到的空针电容值与判断变量进行关联；如果存在，则自动获取存在的空针电容值； 所述测试信息包括测试对象信息和测试参数，所述基于所述测试信息中的共性信息生成判断变量，包括：获取用户选择的测试模式，根据所述测试模式确定所述共性信息所需的数据维度；根据所述共性信息所需的数据维度选择所需的测试对象信息，与测试参数中的共性信息共同组成判断变量；其中，所述数据维度对应设置有批次维度、晶圆维度、裸片维度； 所述基于判断变量确定是否存在对应的空针电容值，包括：设定判断变量为key，设定返回指令$获取到变量输出定量，返回指令$获取到定量输出为空；基于判断变量，获取$$key的全局变量；当$$key为空值时，则全局变量为目标数值；当$$key为定量时，则全局变量为变量$key的数值；基于所述全局变量的数值确定是否测试空针电容；当测试空针电容时，则将$key设置为数值等于当前测试得到的空针电容值的变量；其中，$key为与测试信息相关的字符串； 所述目标数值大于预设的阈值；所述基于所述全局变量的数值确定是否测试空针电容，包括：如果所述全局变量的数值大于所述阈值，确定测试空针电容；如果所述全局变量的数值小于或等于所述阈值，确定不测试空针电容。

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