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龙图腾网获悉苏州晨晖智能设备有限公司申请的专利一种单晶硅热场多区段动态协同加热控制方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119932698B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510415601.7，技术领域涉及：G06F30/23；该发明授权一种单晶硅热场多区段动态协同加热控制方法及系统是由梁勇;闫洪嘉;张鹏设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单晶硅热场多区段动态协同加热控制方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种单晶硅热场多区段动态协同加热控制方法及系统，包括以下步骤：构建热场多区段温度耦合模型，划分热场为n个轴向加热区段，建立功率输入与温度梯度的动态关系；设计深度强化学习智能体，其状态空间集成各加热区段温度、晶体提拉速度、坩埚升速及温度梯度，动作空间输出各加热区段功率调节量；定义多目标奖励函数，联合优化温度梯度跟踪、总功率变化及埚底安全阈值；基于热场模型离线训练智能体，优化策略网络；在线部署智能体，实时生成功率调节指令；动态修正控制策略，通过设置触发调节在线微调。本发明解决了传统方法在温度梯度控制精度、能耗经济性及异常工况自适应性方面的不足，显著提升单晶硅生长质量与效率。

本发明授权一种单晶硅热场多区段动态协同加热控制方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种单晶硅热场多区段动态协同加热控制方法，其特征在于，包括以下步骤： 构建热场多区段温度耦合模型，将热场划分为n个轴向加热区段，建立各加热区段功率输入与晶体生长温度梯度的动态关系；所述构建热场多区段温度耦合模型包括：基于有限元分析法，建立各加热区段功率输入与温度梯度的动态关系，满足： Gt=fP1t-τ1,P2t-τ2,...,Pnt-τn+εt； 其中，τ1～τn为各加热区段热传导延迟时间，εt为环境噪声扰动项； 设计深度强化学习智能体，其状态空间包含：各加热区段实时温度值T1～Tn、晶体提拉速度v、坩埚升速s、热场纵向温度梯度实测值G；动作空间为各加热区段功率调节量ΔP1～ΔPn； 定义奖励函数： ； 其中,α,β,γ:分别是与G、ΔP和T相关的权重系数，Gt：目标温度梯度，ΔP为总功率变化量，Tc：坩埚底部温度，Tth：安全温度阈值； 基于热场多区段温度耦合模型和奖励函数，模拟晶体生长全过程，优化智能体策略网络参数； 将训练后的智能体接入热场，实时读取传感器数据，输出各区段功率调节指令； 动态修正控制策略，设置触发条件，自动触发策略更新，修正控制参数。

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