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龙图腾网恭喜深圳市智鼎自动化技术有限公司申请的专利大面积激光退火的均匀性控制方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120127004B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510562920.0，技术领域涉及：H01L21/268；该发明授权大面积激光退火的均匀性控制方法及装置是由蒋榕;欧东设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本大面积激光退火的均匀性控制方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及自动控制技术领域，公开了一种大面积激光退火的均匀性控制方法及装置，所述方法包括：获取基板三维高度分布图，用自适应分割算法划分子区域，得到高度均值与边界坐标。依据高度均值计算焦距调整量，生成焦点参数表。经激光测试比对，动态调焦至焦点偏移小于阈值，获修正焦点数据。提取能量过渡特征，以最小能量梯度约束生成扫描路径。按路径控制激光束，采集能量分布信号，检测初始退火深度，调整未达一致性的子区域激光参数，平滑边缘区域退火特征，生成满足均匀公差的控制指令。本方法通过测量基板全区域高度分布，对基板划分不同的子区域并平滑区域之间的能量过渡，实现激光退火的均匀控制。

本发明授权大面积激光退火的均匀性控制方法及装置在权利要求书中公布了：1.在大面积激光退火的均匀性控制方法，其特征在于，所述方法包括： 获取基板全区域的三维高度分布图； 基于所述三维高度分布图，采用自适应分割算法划分基板为多个子区域，并获取各子区域的高度均值与边界坐标； 根据所述高度均值计算激光焦点在各子区域的焦距调整量，生成焦点参数表； 通过激光测试确定实际焦点位置并与所述焦点参数表对比，得到各子区域的焦点偏移； 通过动态调焦方法调整激光镜头位置直至所述焦点偏移小于预设位置公差阈值，获取修正焦点分布数据； 从所述修正焦点分布数据提取子区域间的能量过渡特征，采用路径优化算法以最小能量梯度为约束生成光学扫描路径轨迹； 基于所述光学扫描路径轨迹数据控制激光束移动，采集实时能量分布信号； 从所述实时能量分布信号中检测初始退火深度，对所述初始退火深度未满足预设一致性公差阈值的子区域的激光功率与扫描速度进行调整，采集更新退火深度； 从所述更新退火深度中提取边缘区域退火特征，平滑子区域间的所述边缘区域退火特征，生成全区域退火深度均匀性满足预设均匀公差的控制指令。

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