恭喜中山大学朱凡获国家专利权
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龙图腾网恭喜中山大学申请的专利精密转镜光学反射和机械偏转中心的高精度检测与解算方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120084218B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510570871.5,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权精密转镜光学反射和机械偏转中心的高精度检测与解算方法是由朱凡;陈艳;唐华丰;黄锐婷;王金梦;陈钦顺;杨山清设计研发完成,并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本精密转镜光学反射和机械偏转中心的高精度检测与解算方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种精密转镜光学反射和机械偏转中心的高精度检测与解算方法。在本发明中,通过对激光器出射的激光光束方向的调整,同时控制精密转镜进行正弦扫描转动,解算出相应的光束横向位移变化,从而确定测量光束入射在精密转镜上的目标入射角度;在目标入射角度下,平移激光器出射的激光光束或精密转镜,同时控制精密转镜进行正弦扫描转动,解算出相应的光路纵向光程变化,利用光路纵向光程变化和光束横向位移变化检测精密转镜的光学反射中心的位置,进而检测出精密转镜的机械偏转中心的位置。本发明能实现对精密转镜的光学反射中心和机械偏转中心的位置的高精度检测,有效地降低光路光程误差。
本发明授权精密转镜光学反射和机械偏转中心的高精度检测与解算方法在权利要求书中公布了:1.一种精密转镜光学反射和机械偏转中心的高精度检测与解算方法,其特征在于,所述方法包括: 通过激光器发射激光光束,将激光光束分束成测量光束和参考光束;将所述测量光束射向精密转镜,由精密转镜的反射平面反射所述测量光束至探测器组件上,同时将所述参考光束入射在探测器组件上,使得所述测量光束和所述参考光束在所述探测器组件上进行光束干涉,生成探测信号; 调整激光器的激光光束的出射方向以调整所述测量光束入射在反射平面上的入射角角度,同时控制精密转镜进行正弦扫描转动,得到不同入射角角度在精密转镜进行正弦扫描转动的扫描期间内对应的多个探测信号;基于不同的探测信号处理得到光束横向位移变化分析图; 从所述光束横向位移变化分析图中确定目标横向波形,以所述目标横向波形对应的入射角角度作为目标入射角度; 将所述测量光束入射在反射平面上的入射角角度调整至目标入射角度,平移激光器或精密转镜以调整所述测量光束入射在反射平面上的入射点位置,同时控制精密转镜进行正弦扫描转动,得到不同入射点位置在精密转镜进行正弦扫描转动的扫描期间内对应的多个探测信号;基于不同探测信号处理得到光路纵向光程变化分析图; 从所述光路纵向光程变化分析图中确定目标纵向波形,以所述目标纵向波形对应的入射点位置作为精密转镜的光学反射中心的位置; 根据精密转镜的光学反射中心的位置,计算出精密转镜的光学反射中心和机械偏转中心之间的距离值,进而检测出精密转镜的机械偏转中心的位置; 所述根据精密转镜的光学反射中心的位置,计算出精密转镜的光学反射中心和机械偏转中心之间的距离值,进而检测出精密转镜的机械偏转中心的位置的步骤,包括: 根据精密转镜的光学反射中心的位置,测量出光学反射中心分别与激光器的激光出射点和探测器组件的中心的距离值,并测量出激光器的激光出射点与精密转镜在初始状态下的反射平面法线之间形成的夹角角度及探测器组件的中心与精密转镜在初始状态下的反射平面法线之间形成的夹角角度; 控制精密转镜转动角,解算出精密转镜转动角对应的光路纵向光程变化量和光束横向位移变化量; 基于预设的光路纵向光程变化量计算公式及光束横向位移变化量计算公式,根据测量出的多个距离值、多个夹角角度及精密转镜转动的角、转动角对应的光路纵向光程变化量和光束横向位移变化量,计算出精密转镜的光学反射中心和机械偏转中心之间的距离值,进而检测出精密转镜的机械偏转中心的位置; 预设的光路纵向光程变化量计算公式如下所示: ; 式中:表示激光器的激光出射点与精密转镜的光学反射中心之间的距离值,表示精密转镜的光学反射中心和机械偏转中心之间的距离值,表示探测器组件的中心与精密转镜的光学反射中心之间的距离值;表示由激光器发射的激光光束的光束出射方向偏离理想光线的夹角角度,表示激光器的激光出射点与在初始状态下的精密转镜的反射平面法线之间形成的夹角角度,表示探测器组件的中心与精密转镜在初始状态下的反射平面法线之间形成的夹角角度;表示在精密转镜转动角下解算得到的光路纵向光程变化量; 其中,预设的光束横向位移变化量计算公式如下所示: ; 式中:表示在精密转镜转动角下解算得到的光束横向位移变化量。
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