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龙图腾网恭喜苏州芯慧联半导体科技有限公司申请的专利一种干法刻蚀腔体真空门更换装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120080292B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510571625.1，技术领域涉及：B25B27/14；该发明授权一种干法刻蚀腔体真空门更换装置是由唐力;隋劲东;潘俊设计研发完成，并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种干法刻蚀腔体真空门更换装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种干法刻蚀腔体真空门更换装置，属于干法刻蚀设备的技术领域，具体包括：基座；移动台车，在基座上移动；顶升单元，安装在移动台车上，顶升单元上设有夹紧单元；承载台，安装在移动台车上，承载台用于承接真空门；夹持单元，安装在承载台或移动台车上，夹持单元用于将位于承载台上的气动总成箱夹紧；其中，承载台的两侧均设有顶升单元，顶升单元的位置和两侧的安装法兰块对应，夹紧单元用于夹持安装法兰块，顶升单元用于驱动夹紧单元升降，承载台用于抵接气动总成箱的底部，夹持单元用于夹紧气动总成箱的相对两侧。通过本申请的处理方案，提高刻蚀腔体真空门更换效率和安全性。

本发明授权一种干法刻蚀腔体真空门更换装置在权利要求书中公布了：1.一种干法刻蚀腔体真空门更换装置，干法刻蚀腔体真空门1包括密封板11、气动总成箱12和安装法兰块13，所述气动总成箱12和所述密封板11下方固定连接，所述安装法兰块13和密封板11的下方固定连接，在所述气动总成箱12的两侧均设有所述安装法兰块13，其特征在于，干法刻蚀腔体真空门更换装置包括： 基座2，位于干法刻蚀腔体的真空门安装位置的下方； 移动台车3，在基座2上移动； 顶升单元4，安装在移动台车3上，所述顶升单元4上设有夹紧单元5； 承载台6，安装在移动台车3上，所述承载台6用于承接真空门1； 夹持单元7，安装在承载台6或移动台车3上，所述夹持单元7用于将位于承载台6上的气动总成箱12夹紧； 其中，承载台6的两侧均设有顶升单元4，所述顶升单元4的位置和两侧的安装法兰块13对应，所述夹紧单元5用于夹持所述安装法兰块13，所述顶升单元4用于驱动所述夹紧单元5升降，所述承载台6用于抵接所述气动总成箱12的底部，所述夹持单元7用于夹紧所述气动总成箱12的相对两侧； 干法刻蚀腔体真空门更换装置还包括总控单元8，所述顶升单元4、夹紧单元5和夹持单元7为气动或电动设备，所述总控单元8用于控制移动台车3的移动、顶升单元4的升降、夹紧单元5的夹持和释放动作、夹持单元7的夹持和释放动作； 所述基座2的一端为上下料工位22，所述基座2的另一端为拆装工位23，所述移动台车3位于拆装工位23时，所述夹紧单元5和所述安装法兰块13对正，或，所述承载台6上的真空门1和干法刻蚀腔体上真空门的安装位置对正；所述移动台车3位于上下料工位22时，所述移动台车3位于干法刻蚀腔体上真空门的安装位置范围外； 所述移动台车3上设有若干个第二气缸36，所述第二气缸36的输出端上设有吸盘35，所述基座2上设有固定板25，所述固定板25的一侧面和所述吸盘35的吸附面对正，所述第二气缸36用于驱动所述吸盘35的吸附面抵接或远离所述固定板25，所述第二气缸36的电磁阀以及吸盘35的电磁阀均和所述总控单元8连接，所述总控单元8用于在所述移动台车3位于上下料工位22或拆装工位23时控制所述第二气缸36驱动所述吸盘35抵接所述固定板25、且控制所述吸盘35的通气； 所述总控单元8用于在所述夹持单元7夹持所述气动总成箱12后，控制所述吸盘35的电磁阀关闭，并控制所述第二气缸36的伸缩轴缩回。

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