恭喜西安电子科技大学张东岩获国家专利权
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龙图腾网恭喜西安电子科技大学申请的专利一种GaN HEMT功率器件栅极退化检测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120103101B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510582853.9,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权一种GaN HEMT功率器件栅极退化检测装置及方法是由张东岩;裘翔帆;闫养希设计研发完成,并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种GaN HEMT功率器件栅极退化检测装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种GaNHEMT功率器件栅极退化检测装置及方法,属于性能检测技术领域,包括脉冲激励源、无源电路、采样电路、控制器及驱动电路;所述脉冲激励源经无源电路与待测GaNHEMT功率器件相连接,采样电路的输出端与控制器的输入端相连接,控制器的输出端经驱动电路与脉冲激励源的控制端相连接,控制器通过采样电路采集待测GaNHEMT功率器件中源极与栅极之间的电压信号V GS,并根据所述电压信号V GS判断待测GaNHEMT功率器件中栅极的退化程度,该装置及方法能够检测GaNHEMT功率器件的栅极退化程度,且具有操作简单及成本低的特点。
本发明授权一种GaN HEMT功率器件栅极退化检测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种GaNHEMT功率器件栅极退化检测方法,其特征在于,基于GaNHEMT功率器件栅极退化检测装置,GaNHEMT功率器件栅极退化检测装置,包括脉冲激励源(W)、无源电路、采样电路(4)、控制器(1)及驱动电路(2); 所述脉冲激励源(W)经无源电路与待测GaNHEMT功率器件(L)相连接,采样电路(4)的输出端与控制器(1)的输入端相连接,控制器(1)的输出端经驱动电路(2)与脉冲激励源(W)的控制端相连接,控制器(1)通过采样电路(4)采集待测GaNHEMT功率器件(L)中源极与栅极之间的电压信号V GS,并根据所述电压信号V GS判断待测GaNHEMT功率器件(L)中栅极的退化程度; 所述无源电路包括第一电阻(G1)、二极管(S)、第二电阻(G2)、第三电阻(G3)、第一电容(D1)及第二电容(D2),脉冲激励源(W)、第一电阻(G1)、二极管(S)及第二电阻(G2)依次串联组成串联回路,第三电阻(G3)与第一电容(D1)串联形成的串联支路与第一电阻(G1)并联连接,第二电容(D2)与第二电阻(G2)并联连接,二极管(S)与第二电阻(G2)串联形成的串联支路与待测GaNHEMT功率器件(L)并联连接; 包括以下步骤: 控制器(1)输出控制信号V 0至驱动电路(2),驱动电路(2)根据所述控制信号V 0生成脉冲激励电压信号V PULSE,所述脉冲激励电压信号V PULSE经无源电路施加到待测GaNHEMT功率器件(L)的栅极及源极上,通过采样电路(4)获取待测GaNHEMT功率器件(L)中栅极及源极之间的电压信号V GS,计算待测GaNHEMT功率器件(L)中栅极未退化时的响应电压V GS-CALC,再对比所述电压信号V GS与所述响应电压V GS-CALC,根据比较结果判断待测GaNHEMT功率器件(L)的栅极是否发生退化; 当待测GaNHEMT功率器件(L)的栅极发生退化时,则根据所述电压信号V GS的波形获取该电压信号V GS的实测电压平台值V GS-H及实测电压峰值V GS-MAX; 根据所述电压信号V GS的实测电压平台值V GS-H及实测电压峰值V GS-MAX判断GaNHEMT功率器件中栅极的退化程度; 所述待测GaNHEMT功率器件(L)中栅极未退化时的响应电压V GS-CALC为: 其中,V D为二极管(S)的压降,s为一个复数变量,R 1为第一电阻(G1)的电阻值,R 2为第二电阻(G2)的电阻值,R 3为第三电阻(G3)的电阻值,C 1为第一电容(D1)的电容值,C 2为第二电容(D2)的容值,C GS为待测GaNHEMT功率器件(L)中栅极与源极之间电容的电容值,R GS为待测GaNHEMT功率器件(L)的栅源等效电阻的电阻值; 所述根据所述电压信号V GS的实测电压平台值V GS-H及实测电压峰值V GS-MAX判断GaNHEMT功率器件中栅极的退化程度的过程为: 根据所述电压信号V GS的实测电压平台值V GS-H判断待测GaNHEMT功率器件(L)中栅源等效电阻的退化程度; 根据所述电压信号V GS的实测电压峰值V GS-MAX判断待测GaNHEMT功率器件(L)中栅极与源极之间电容的退化程度。
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