恭喜株式会社半导体能源研究所高桥正弘获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社半导体能源研究所申请的专利金属氧化物膜及金属氧化物膜的形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN109065553B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201810945034.6,技术领域涉及:H10D86/60;该发明授权金属氧化物膜及金属氧化物膜的形成方法是由高桥正弘;广桥拓也;津吹将志;石原典隆;太田将志设计研发完成,并于2013-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属氧化物膜及金属氧化物膜的形成方法在说明书摘要公布了:提供一种包含晶体部且物理性质的稳定性高的金属氧化物膜。晶体部的尺寸小于或等于10nm,因此当测量区域大于或等于且小于或等于时,在金属氧化物膜的截面的纳米束电子衍射图案中观察到圆周状的斑点。
本发明授权金属氧化物膜及金属氧化物膜的形成方法在权利要求书中公布了:1.一种晶体管,其特征在于, 包含栅电极、所述栅电极上的栅极绝缘膜、和所述栅极绝缘膜上的氧化物半导体层, 所述氧化物半导体层的沟道形成区包含通过纳米束电子衍射图案所观察到不是具有示出以特定平面取向的晶体部的规律性的多个斑点、而是呈圆周状分布的多个斑点的区域, 所述沟道形成区具有多个纳米晶体, 所述多个纳米晶体的表面取向不规则, 所述多个纳米晶体的各自的尺寸小于或等于10nm, 所述栅极绝缘膜具有氧化硅。
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