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龙图腾网恭喜靖江先锋半导体科技有限公司申请的专利一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111161995B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010154358.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座是由游利;贾坤良设计研发完成，并于2020-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座在说明书摘要公布了：一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座，包括加热基座主体、云母加热片、陶瓷隔热板以及耐高温隔热转接密封接头，所述的加热基座主体内设置有云母加热片以及陶瓷隔热板，所述的耐高温隔热转接密封接头设置在加热基座主体上。本发明全封闭式云母加热基座通过控制两片云母片内部的刻蚀成型的多区控温的加热丝产生热量的分布，并通过热量的传导使加热基座工作面均匀发热，从面实现对表面放置晶圆和聚酰亚胺静电卡盘加热的功能。

本发明授权一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座在权利要求书中公布了：1.一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座，其特征在于：包括加热基座主体（1）、云母加热片（2）、陶瓷隔热板（3）以及耐高温隔热转接密封接头（4），所述的加热基座主体（1）内设置有云母加热片（2）以及陶瓷隔热板（3），所述的耐高温隔热转接密封接头（4）设置在加热基座主体上（1）；所述的加热基座主体（1）包括上盖（1-1）、下盖（1-2）、耐高温密封接头（1-3）、固定螺纹孔（1-4）以及堵头（1-5）；所述的云母加热片（2）包括云母上片（2-1）、云母下片（2-2）、加热片安装沟槽（2-3）、加热导线（2-4）以及加热片（2-5）；所述的陶瓷隔热板（3）包括陶瓷隔热板主体（3-1）、定位锁紧陶瓷螺丝（3-2）、锁紧螺丝（3-3）以及导线引出槽（3-4）；所述的陶瓷隔热板主体（3-1）通过锁紧螺丝（3-3）压紧云母加热片（2），通过定位锁紧陶瓷螺丝（3-2）与加热基座主体（1）配合，所述的云母上片（2-1）与云母下片（2-2）之间通过加热片安装沟槽（2-3）配合固定；所述的加热导线（2-4）从导线引出槽（3-4）伸出与耐高温隔热转接密封接头（4）配合； 所述的加热基座主体（1）使用带有薄壁结构的铝合金或不锈钢作为基体，减少使用过程中热量损失；在内部加工有固定云母加热片的定位安装孔，保证云母片安装时的准确定位；表面加工有均匀圆周分布的导气沟槽，防止使用时晶圆滑动；在基体上导线出口的位置设计带有密封沟槽和高温密封胶密封导线的密封接头，云母加热基座工作时此密封区域与O形密封圈配合使用，有组装完成后抽真空的密封堵头设计,避免工艺气体腐蚀内部加热片及防止内部云母片吸潮影响使用寿命； 所述的耐高温隔热转接密封接头（4）包括钛合金主体（4-1）、高温O型圈用密封沟槽（4-2）、低温O型圈用密封沟槽（4-3）、薄壁结构（4-4）以及封真空用耐高温胶接部分（4-5）；所述的封真空用耐高温胶接部分（4-5）侧的钛合金主体（4-1）上设置有低温O型圈用密封沟槽（4-3），所述的钛合金主体（4-1）另一侧设置有高温O型圈用密封沟槽（4-2）；所述的薄壁结构（4-4）通过焊接形成。

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