恭喜ASML荷兰有限公司张强获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于模型基础对准的基于机器学习的图像产生获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114787713B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080075537.8,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权用于模型基础对准的基于机器学习的图像产生是由张强;郭蕴博;曹宇;王祯祥;卢彦文;陈丹武;阳鹏程;梁浩毅;陈志超;浦凌凌设计研发完成,并于2020-10-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于模型基础对准的基于机器学习的图像产生在说明书摘要公布了:一种用于训练机器学习模型以产生预测的被测量图像的方法,包括:获得a与参考设计图案相关联的输入目标图像,和b与印制于衬底上的指定设计图案相关联的参考测量图像,其中所述输入目标图像与所述参考测量图像为未对准的图像;和通过硬件计算机系统且使用所述输入目标图像训练所述机器学习模型以产生预测的被测量图像。
本发明授权用于模型基础对准的基于机器学习的图像产生在权利要求书中公布了:1.一种对准被测量图像的方法,所述方法包括: 获得a与衬底上的设计图案相关联的被测量图像,和b从与所述设计图案相关联的目标图像产生的预测的被测量图像;以及 基于所述被测量图像与所述预测的被测量图像之间的偏移来对准所述被测量图像与所述预测的被测量图像, 其中,获得所述预测的被测量图像包括: 通过使用机器学习模型获得所述预测的被测量图像,所述机器学习模型被配置成从所述目标图像产生所述预测的被测量图像。
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