恭喜应用材料公司克里斯多弗·丹尼斯·本彻获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利图案化层状结构的光刻设备、图案化系统与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114641730B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080076833.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权图案化层状结构的光刻设备、图案化系统与方法是由克里斯多弗·丹尼斯·本彻设计研发完成，并于2020-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本图案化层状结构的光刻设备、图案化系统与方法在说明书摘要公布了：本案的实施方式包括一种用于图案化层状结构的光刻设备、图案化系统及方法。图案化系统包括图像形成装置及反应层。图案化系统允许在单一操作中创建光刻图案。光刻设备包括图案化系统和光学系统。光刻设备与图像形成装置一起使用多个波长的光，以在反应层上创建多个颜色图案。图案化方法包括将反应层暴露于多个波长的光。依据发射到不同区域的光的波长，光会与反应层的不同区域发生不同的反应。本案公开的方法及设备仅需要一个图像形成装置及一个光刻操作。
本发明授权图案化层状结构的光刻设备、图案化系统与方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻设备，能操作以图案化材料的反应层，所述材料的反应层在第一区域和第二区域处具有第一光酸产生剂和第一光碱产生剂，所述光刻设备包括： 基板支撑，经配置以支撑层状结构； 光源系统，能够发射具有两种或更多种波长的光，所述波长包括第一波长和第二波长；以及 图像形成装置，所述图像形成装置包括： 第一器件区域，能够允许所述第一波长的所述光的透射，并产生在所述第一波长处的第一光图像，以被投射到所述层状结构的所述反应层的所述第一区域，所述第一区域具有至少第一部分，所述第一波长活化所述第一光酸产生剂和所述第一光碱产生剂； 第二器件区域，能够允许所述第二波长的所述光的透射，并产生在所述第二波长处的第二光图像，以被投射到所述层状结构的所述反应层的所述第二区域，所述第二区域具有至少第二部分，其中所述第一部分和所述第二部分设置在所述层状结构的不同区域之上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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