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恭喜仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司刘锐获国家专利权

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龙图腾网恭喜仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司申请的专利基于光纤的低温近场光学显微镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112595860B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011567791.8,技术领域涉及:G01Q60/18;该发明授权基于光纤的低温近场光学显微镜是由刘锐设计研发完成,并于2020-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

基于光纤的低温近场光学显微镜在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于光纤的低温近场光学显微镜,用于测量样品,包括光学部分和扫描机械部分,光学部分包括光源、光纤耦合器、干涉臂、探测器和近场耦合结构,所述光源与所述光纤耦合器的第一入射端口固定连接,所述探测器与所述光纤耦合器的第二入射端口固定连接。本发明公开的一种基于光纤的低温近场光学显微镜,其不仅省去了光波束引导机构的调试校准工序,还避免了系统机械部件老化所带来的位置漂移影响,其具有更好的抗环境干扰能力、安装位置受实际安装环境影响小和能够更经济的达到1.2K、4K的超低温环境等优点。

本发明授权基于光纤的低温近场光学显微镜在权利要求书中公布了:1.一种基于光纤的低温近场光学显微镜,用于测量样品,包括光学部分和扫描机械部分,其特征在于,光学部分包括光源、光纤耦合器、干涉臂、探测器和近场耦合结构,其中: 所述光源与所述光纤耦合器的第一入射端口固定连接,所述探测器与所述光纤耦合器的第二入射端口固定连接; 所述光纤耦合器的第一出射端口与所述近场耦合结构固定连接,所述近场耦合结构用于将所述光源发射的光波束汇聚于扫描机械部分的扫描探针的针尖上的有效近场散射区域并且收集样品近场信息,所述光纤耦合器的第二出射端口与所述干涉臂固定连接; 由近场耦合结构收集到的近场散射光波束将原路返回至光纤耦合器,其中高比例能量将进入探测器,低比例能量将进入光纤隔离器被阻挡,近场耦合结构的主光轴与样品的表面夹角为30°,整个结构固定于由压电步进电机驱动的三维位移台之上,以实现与扫描探针的针尖的精确耦合; 对于光纤耦合器: 第一出射端口对于第一入射端口时为低功率信号输出,第一出射口对于第二入射端口时为高功率信号输出; 第二出射端口对于第二入射端口时为低功率信号输出,第二出射口对于第一入射端口时为高功率信号输出; 光纤耦合器为双向传输且能量分配比为9:1,将由任意端口入射的光波束按能量比9:1分割后由两个出射端口出射; 所述干涉臂包括由压电陶瓷驱动的光纤拉伸器和末端安装有反向耦合器的第二光纤,所述第二光纤缠绕固定于所述光纤拉伸器,所述第二光纤远离反向耦合器的一端与所述光纤耦合器的第二出射端口固定连接,反向耦合器将第二光纤内的光波束极低损耗的反向传输至光纤耦合器,其中高比例能量将进入光纤隔离器被阻挡,低比例能量将进入探测器,光纤拉伸器经由压电陶瓷驱动使光纤以百赫兹级别的频率实现几百纳米的伸缩变化,引起第二光纤内光波束光程的改变,用以实现干涉测量提升信号信噪比。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司,其通讯地址为:314001 浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号(中科院三期)17号楼2楼203室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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