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恭喜应用材料以色列公司O·格林伯格获国家专利权

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龙图腾网恭喜应用材料以色列公司申请的专利确定可疑缺陷的位置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113358664B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110220553.8,技术领域涉及:G01N21/95;该发明授权确定可疑缺陷的位置是由O·格林伯格;D·西格尔;D·H·杨;T·本-什洛莫设计研发完成,并于2021-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

确定可疑缺陷的位置在说明书摘要公布了:用于确定基板的可疑缺陷的位置的方法、非暂时性计算机可读介质和检测系统。

本发明授权确定可疑缺陷的位置在权利要求书中公布了:1.一种用于确定基板的可疑缺陷的位置的方法,所述方法包括: 通过带电粒子检查系统CPRS确定可疑缺陷组的CPRS确定位置;其中所述确定是至少部分地基于所述可疑缺陷组的光学晶片检验系统OWIS确定位置;其中所述组的所述可疑缺陷仅为所述基板的所述可疑缺陷的一部分; 针对可疑缺陷的多个排列中的可疑缺陷的每个排列,计算排列相关映射以提供多个排列关系映射;其中每个排列关系映射将所述排列的所述可疑缺陷的CPRS确定位置映射到所述排列的所述可疑缺陷的OWIS确定位置;其中 可疑缺陷的每个排列由所述可疑缺陷组的子组形成; 选择选定排列相关映射; 确定是否使用所述选定排列相关映射来将所述基板的所述可疑缺陷的所述OWIS确定位置转换为所述基板的所述可疑缺陷的CPRS确定位置;以及 当确定使用所述选定排列相关映射时,通过使用所述选定排列相关映射,将所述基板的所述可疑缺陷的所述OWIS确定位置转换为所述基板的所述可疑缺陷的CPRS确定位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司,其通讯地址为:以色列瑞哈佛特市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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