恭喜三菱综合材料株式会社石川史朗获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜三菱综合材料株式会社申请的专利等离子体处理装置用部件和其制造方法及等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115191024B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180017626.1，技术领域涉及：H01L21/3065；该发明授权等离子体处理装置用部件和其制造方法及等离子体处理装置是由石川史朗;仓田悠都;八十岛司;盐野一郎;片濑琢磨设计研发完成，并于2021-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置用部件和其制造方法及等离子体处理装置在说明书摘要公布了：该等离子体处理装置用部件10，22的特征在于，具有基材12，23和设置在所述基材的一面的导热层13，24，所述导热层13，24包含氟系树脂及氟系弹性体中的至少一者。
本发明授权等离子体处理装置用部件和其制造方法及等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置用部件，其特征在于， 具有基材和设置在所述基材的一面的导热层， 所述导热层包含氟系树脂及氟系弹性体中的至少一者和填料， 所述填料为选自氧化铝、氧化铝水合物、氮化铝、二氧化硅、碳化硅、氧化钛及氮化硼中的一种或两种以上， 所述导热层中的所述填料的含量在50质量％以上且90质量％以下的范围内， 所述等离子体处理装置用部件为聚焦环。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三菱综合材料株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号