恭喜华芯半导体研究院(北京)有限公司;华芯半导体科技有限公司王金昭获国家专利权
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龙图腾网恭喜华芯半导体研究院(北京)有限公司;华芯半导体科技有限公司申请的专利芯片的氧化孔径的观察装置以及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113189759B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110406350.8，技术领域涉及：G02B21/06；该发明授权芯片的氧化孔径的观察装置以及方法是由王金昭;王青;江蔼庭;张杨设计研发完成，并于2021-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片的氧化孔径的观察装置以及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了芯片的氧化孔径的观察装置以及方法，所述装置包括显微镜；载台，所述载台设在所述显微镜的下方，所述载台上设有透光玻璃基板，所述透光玻璃基板上放置待观察的芯片；滤光载盘，所述滤光载盘设在所述载台的下方，所述滤光载盘用于放置滤光片；灯罩，所述灯罩设在所述滤光片的下方；灯箱，所述灯箱通过光路与所述灯罩相连，所述灯箱中放置灯。该装置有效避免了现有技术中存在的芯片产品表面的金属容易对光源产生反光，从而导致光源无法有效射在产品上的问题以及无法准确观察氧化孔径的轮廓，容易产生暗影的问题，由此能够准确有效地观察到芯片的氧化孔径。另外，该装置还具有结构简单、装置价格便宜等优点。
本发明授权芯片的氧化孔径的观察装置以及方法在权利要求书中公布了：1.一种芯片的氧化孔径的观察装置，其特征在于，包括： 显微镜； 载台，所述载台设在所述显微镜的下方，所述载台上设有透光玻璃基板，所述透光玻璃基板上放置待观察的芯片； 滤光载盘，所述滤光载盘设在所述载台的下方，所述滤光载盘用于放置滤光片； 灯罩，所述灯罩设在所述滤光片的下方； 灯箱，所述灯箱通过光路与所述灯罩相连，所述灯箱中放置灯； 所述载台设在所述显微镜的正下方；所述滤光片设在所述载台的正下方；所述灯罩设在所述滤光片的正下方； 所述滤光片与所述透光玻璃基板之间的垂直距离为1-2cm； 所述滤光片与所述灯罩之间的垂直距离为1-5cm； 所述灯箱中的灯的功率不小于100W。
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