上海交通大学宋鹏慧获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利超快脉冲激光干涉系统的等效波长校准装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115597696B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110775251.7,技术领域涉及:G01H9/00;该发明授权超快脉冲激光干涉系统的等效波长校准装置及方法是由宋鹏慧;邵磊;张文明设计研发完成,并于2021-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本超快脉冲激光干涉系统的等效波长校准装置及方法在说明书摘要公布了:一种超快脉冲激光干涉系统的等效波长校准装置及方法,包括:依次设置的光源组件、干涉光路组件和信号采集与处理组件,其中:信号采集与处理组件接收来自干涉光路的两束干涉光信号,并将干涉光信号转换为电压信号进行处理,得到信号光与参考光之间的相位差并结合纳米定位器的位移信息计算出脉冲激光干涉的等效波长。本发明使脉冲激光等效波长的有效性与超快脉冲激光干涉测振系统的测量准确性提高至少一个数量级。
本发明授权超快脉冲激光干涉系统的等效波长校准装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种超快脉冲激光干涉系统的等效波长校准装置,其特征在于,包括:依次设置的光源组件、干涉光路组件和信号采集与处理组件,其中:信号采集与处理组件接收来自干涉光路的两束干涉光信号,并将干涉光信号转换为电压信号进行处理,得到信号光与参考光之间的相位差并结合纳米定位器的位移信息计算出脉冲激光干涉的等效波长; 所述的干涉光路组件包括:偏振分光棱镜、第一四分之一波片、第一反射镜、第二四分之一波片、第二反射镜、纳米定位器、非偏振分光棱镜、第二线偏振片、第三四分之一波片和第三线偏振片,其中:偏振分光棱镜设置于光源组件中的第一线偏振片的光路上,将脉冲光束分为作为参考光的第一反射光与作为信号光的第一透射光,第一四分之一波片设置于参考光光路上用于调制从偏振分光棱镜入射的参考光和从第一反射镜反射回的参考光,第一反射镜设置于第一四分之一波片的光路上用于将从第一四分之一波片入射的参考光按原光路反射,第二四分之一波片设置于信号光光路上用于调制从偏振分光棱镜入射的信号光和从第二反射镜反射回的信号光;第二反射镜位于第二四分之一波片的光路上且设置于纳米定位器上用于将从第二四分之一波片入射的信号光按原光路反射,参考光和信号光第二次通过偏振分光棱镜后偏振角度相互垂直,且沿同一光路进入非偏振分光棱镜中,纳米定位器的可动方向平行于信号光光路,非偏振分光棱镜设置于由偏振分光棱镜射出的信号光与参考光的共同光路上,用于将信号光与参考光分为第二反射光与第二透射光;第二线偏振片设置于由非偏振分光棱镜入射的第二反射光光路上,用于使第二反射光中包含的参考光成分与信号光成分发生干涉,第三四分之一波片设置于由非偏振分光棱镜入射的第二透射光光路上,用于将第二透射光中的信号光成分的相位延迟90°;第三线偏振片设置于由第三四分之一波片入射的第二透射光光路上,用于使第二透射光中包含的参考光成分与信号光成分发生干涉; 所述的参考光和信号光具有可调的光程差2ΔL,其中:ΔL为纳米定位台的位移;两束光通过非偏振分光镜后各自被分为两束光强相等的光,其中反射光经过第二偏振片后形成干涉光,干涉光由强度相等而相位不同的两束脉冲光构成,当参考光部分Er1=∈t·ei [ωt+θt],其中:信号光成分与参考光存在光程差2ΔL,故两者之间的时间延迟为τ=2ΔLc,其中:c为光速,则信号光方程Es1=∈t+τ·ei[ωt+τ+θt+τ];第一光电探测器接收到的干涉光强度为:E1=|Er1+Es1|=∈2t+∈2t+τ+2∈t∈t+τcosωτ+θt+τ-θt;过滤其中的直流部分后强度更新为E1AC=2∈t∈t+τcosωτ+θt+τ-θt;通过非偏振分光镜的第二透射光首先经过第三四分之一波片,使其中信号光成分的相位相较于参考光成分滞后了π2;则参考光部分Er2=∈t·ei[ωt+θt],信号光部分Es2=∈t+τ·ei [ωt+τ+θt+τ-π2],第二光电探测器接收到的干涉光滤掉直流部分后强度E2AC=2∈t∈t+τsinωτ+θt+τ-θt,计算得到信号光与参考光的相位差φτ=arctanE2ACE1AC,通过调整纳米定位器可不断改变光程差得到一系列的ΔLi值及对应的相位差值φi,等效波长
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