赛峰集团;国家科学研究中心;波尔多大学马乔里·克里斯蒂娜·卡瓦罗克获国家专利权
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龙图腾网获悉赛峰集团;国家科学研究中心;波尔多大学申请的专利通过超临界流体路径沉积厚金属氮化物涂层的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116157553B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180059156.5，技术领域涉及：C23C18/12；该发明授权通过超临界流体路径沉积厚金属氮化物涂层的装置和方法是由马乔里·克里斯蒂娜·卡瓦罗克;西里尔·艾莫尼尔;巴普蒂斯特·西蒙·吉鲁瓦尔;伯特兰·纪尧姆;安吉丽·纳丁·珍妮·普隆;纪尧姆·奥伯特设计研发完成，并于2021-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本通过超临界流体路径沉积厚金属氮化物涂层的装置和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于通过超临界流体路线，用于在样品104上沉积厚金属氮化物的装置100，包括：‑形成第一封闭容积V1的第一外壳110；‑第二外壳120，其被放置在第一外壳中，并且由可透过电磁辐射的内壁102界定，形成旨在容纳超临界条件下的流体的第二封闭容积V2；‑在第一容积中围绕第二外壳循环的介电传热流体；‑在第二容积中存在的样品保持架105；‑围绕第二外壳的感应加热器103；‑入口150、151，用于将流体和至少一种前体材料引入到第二外壳中；以及出口152，用于净化第二容积。
本发明授权通过超临界流体路径沉积厚金属氮化物涂层的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于通过超临界流体，在样品上沉积具有大于或等于1μm厚度的金属氮化物的装置，包括： -第一外壳，其由形成第一封闭容积的外壁界定； -第二外壳，其由形成第二封闭容积的内壁界定，第二外壳被放置在第一外壳中，并且旨在容纳超临界条件下的流体，并且内壁的材料可透过电磁辐射； -传热介电流体，其围绕第二外壳在第一容积中循环； -样品保持架，其存在于第二容积中，并且被构造成支撑样品； -感应加热装置，其被放置在第一外壳中，并且围绕第二外壳，以便能够加热在样品保持架上所放置的样品； -入口，其被构造成将流体引入到第二容积中； -入口，其被构造成将至少一种前体材料引入到第二容积中；以及 -至少一个出口，其被构造成净化第二容积。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人赛峰集团;国家科学研究中心;波尔多大学，其通讯地址为：法国巴黎；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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